产品名称：高真空电阻蒸发镀膜机；产品品牌：北京泰科诺科技有限公司；产品型号 ******；真空腔室：Φ***×******（实际尺寸为准）****** 优质不锈钢真空腔室；真空系统：高性能脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；真空极限：*.*×******（设备空载，抽真空 ** 小时）；升压率：设备升压率：≤*.***/*（** 小时平均值）；设备保压：停泵 ** 小时后，设备真空度≤****；抽速：从大气抽至 *.*×******≤*****（设备空载）；基片台：①基片台尺寸Φ*****，承载最大样品尺寸小于Φ****；②旋转转速 *～** 转/分钟，可调可控。③选配基片台水冷（**℃至 **℃可调，环境温度）蒸发源及电源：金属蒸发源：水冷铜电极 * 组；逆变式蒸发电源：功率 ***；* 台.膜厚不均匀性：≤±*%（单源蒸镀，基片台Φ***** 范围内）；控制方式 ***+触摸屏控制；

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