*.蒸发器设计：温度控制在***℃； *.液体控制：蠕动泵控制泵速满足≥*.*****/***； *.气体控制：配气仪调节载气流量 **/*** (***~****/*)； *.机箱设计：**机架式安装； *.控制单元：*）配气按流量设定；*）泵速设定；*）恒温控制（内置）屏幕设置；*）触摸屏*.*寸； *.在线控制软件：*）支持局域网络连接控制；*）登录用户可管理；*）支持实时曲线、历史数据存储、导出等功能；*）包含工艺主界面、系统控制界面、实时曲线界面、历史数据界面等；*）系统控制功能与仪器控制功能保持一致：支持流量设置、温度控制及启停等。

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