一、询价采购编号：********

二、询价人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路**号凌云楼***室

邮编：******　　　　　　 传真：*************

联系人：丁老师　　　　　　电话：*************，********

电子邮箱：*****@****.***.**

技术联系人：朱老师 电话：***********

电子邮箱：*******@****.***.**

三、设备名称、数量及主要技术指标等要求

等离子体处理机　　*套

（一）主要性能指标和配置要求

*．自动和手动控制模式，处理中可随时更改状态参数。

*．可视化操作界面，通过触摸液晶屏进行工艺程序存储，等离子体处理功率，等离子体处理时间，压力，流量，流量比(气体混合物)，泵停机时间，供气时间，通风时间等操作。该系统允许在过程结束时自动排气或保持在真空。

*．可设定等离子功率*****(******）可调、真空压力、气体流量、气体混合比例、通气时间、破真空时间等参数。

*．极限真空度优于********。

*．*路***数字流量计，精度±*%，重复性±*.**%。可通入**、**、**、**、***、***等非腐蚀气体，可控制通气流量和通气时间。

*．压力互锁功能，抽真空压力*.****以下，其他工艺功能才能启动。

*．射频发生器，*****，******连续可调

*．腔体材料：不锈钢；腔体体积≥***

*．可移动式托盘，可同时容纳多个样品进行处理。

**．带观察窗，实时观测腔体动态。装载门报警开关：门闭合不到位、漏气等进行报警。

**．真空泵与设备联动控制，由等离子设备控制启停。

（二）质保期不少于*年

四、报价截止时间：****年*月**日**：**。

五、询价采购文件价格：人民币***元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。

六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。

附件：标书费缴纳说明(********）.***

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询价采购编号：********

成交供应商：