真空度：≤**** ** 前级泵抽速：≥** */* 分子泵抽速：≥**** */* (**) 分子泵转速：≥***** *** 配套部件：抽气泵组、装置窗口法兰（含****接口）、系统抽气管道（含****接口）、波纹管（滤震+抽气）、高真空挡板阀、插板阀、密封件、支撑件（可调节）、紧固件等 所有加工部件采用氩弧焊真空密封焊，发货前进行真空负压检漏，设备部件漏率要求≤***** *****/* 所有设备部件严禁磕碰划伤 供应商应具有真空设备代理销售资质和加工高真空系统设备部件的经验（提供代理证书和近一年内承担的加工合同及验收合格报告）

*年质保以及使用指导