*. *.控制系统 *.手动 *.真空和发生器互锁功能 *.跟据工艺需求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数 *.工艺气路： *.*个浮球流量计（可通多种工艺气体**、**等非腐蚀性气体） *.量程分别为******** *.*路破真空进气气路 *.压力控制： *.配有指针式压力计，实时显示工艺舱的压力值 *.压力表量程*.****.****** *.发生器： *.频率*****,功率*~****连续可调 *.自动电阻阻抗匹配 *.具有电流过载保护功能 *.反应腔： *.圆柱形高硼硅玻璃材料，厚度不小于*** *.腔体尺寸：************* *.容积：**.** *.铰链门带观察窗 *.双油式真空泵，排气速度***/*，极限真空度*.*** *.外尺寸：********************(含电源线突出部分) *.电源电压：单相****** *** *.配备慢进气装置 **.电极外置，***°环绕电极，上下各一层