广东/广州-2025-05-23 00:00:00
松山湖材料实验室****年**月至****年**月政府采购意向
发布机构： 发布时间：********** **:**:**
采购计划编号： 预算金额： 采购品目：
代理机构： 项目经办人： 项目负责人：
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 松山湖材料实验室***刻蚀设备采购项目 |
标的名称：***刻蚀设备采购项目
标的数量：*
主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。
需满足的要求：*、样品尺寸：***寸； *、刻蚀材料：**、****，***等半导体材料，常见金属以及金属基材料; *、配备***、****、***、***、****等工艺气体； *、片内、片间均匀性（*寸）：≤±*%； *、 ***刻蚀指标： *) 刻蚀速率：***;*****/***； *) **选择比：***;*； *) 侧面倾角：***;**°;
|
遵循落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位贫困地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
****年**月**日
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松山湖材料实验室****年**月至****年**月政府采购意向
发布机构： 发布时间：********** **:**:**
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
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| * | 松山湖材料实验室***刻蚀设备采购项目 |
标的名称：***刻蚀设备采购项目
标的数量：*
主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。
需满足的要求：*、样品尺寸：***寸； *、刻蚀材料：**、****，***等半导体材料，常见金属以及金属基材料; *、配备***、****、***、***、****等工艺气体； *、片内、片间均匀性（*寸）：≤±*%； *、 ***刻蚀指标： *) 刻蚀速率：***;*****/***； *) **选择比：***;*； *) 侧面倾角：***;**°;
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遵循落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位贫困地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
****年**月**日
