采购内容：喷涂式光刻胶涂覆机

采购数量：*台

采购内容：激光扫描共聚焦显微镜

采购数量：*台

采购内容：超硬晶圆激光切割机

采购数量：*台

采购内容：*********自动光学检测***设备

采购数量：*台

采购内容：喷淋式晶圆清洗机

采购数量：*台

主要功能或目标：喷涂式光刻胶涂覆机实现高精度均匀涂胶，突破异形基板图形化瓶颈；激光扫描共聚焦显微镜通过三维检测，精准分析膜厚与缺陷形貌；超硬晶圆激光切割机以高能激光高效切割硬脆材料，降低崩边率；*********自动光学检测***设备结合高分辨率成像与**算法，快速筛查微米级缺陷，提升检测效率；喷淋式晶圆清洗机无损伤去除微粒及残留，保障芯片洁净度。

需满足的要求：喷涂式光刻胶涂覆机需满足可进行超声波雾化喷涂等要求；激光扫描共聚焦显微镜需满足扫描视野≥****等要求；超硬晶圆激光切割机需满足崩边不大于*微米等要求；*********自动光学检测***设备需满足有恒温载台，保证检测结果稳定性等要求；喷淋式晶圆清洗机需满足清洗溶剂：去离子水、酸性溶液、碱性溶液、有机溶剂（丙酮、异丙醇）等要求。