*.极限真空度：优于*×**** ** *.漏率：*.*×**** **·*/* *.工作真空：*×**** **，从大气到工作真空时间小于**分钟（新设备冷态下） *.系统保压：系统抽到极限后，停泵关机**小时后，系统真空度保持状态≤***。 *.样品尺寸：***×*** **. *.样品托尺寸：***×*** **. *.样品架与源表面距离：*** **固定 *.样品台：带旋转，无加热，无升降。 *.蒸发源：金属源×*套，高温束源炉×*套。可以*套束源炉和*套金属源共蒸发，也可以*套束源炉共蒸发。 **.高温束源炉，配有水冷电极，温度***℃*****℃,可以长时间蒸发铜，配有气动挡板，挡板与源炉口高度*~* **可调。内置水冷筒。 **.高温源电源：* **。 控温精度±*℃ ，最高加热温度****℃。 配有进口导电控制表。 **.真空室开腔形式：手动前大开门结构 **.膜厚探头：水冷*只，安装在样品架下方。一只膜厚探头监测一个束源炉，一套金属源。 **.真空计：冷规方式。 **.抽真空方式：电动+气动，自动抽取真空，程序控制。 **.膜厚及均一性：*****≤±*%。 **.控制方式：触摸屏控制方式。可控制金属蒸发电源 **.蒸发方式：速率自动蒸发/功率/温度方式。 **.对接手套箱：无法对接手套箱 **.膜厚仪：配置国产双通道显示膜厚仪。 **.货期：**天。

*、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务；