深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开

2025-05-12

广东/深圳

招标采购

深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
广东/深圳-2025-05-12 00:00:00

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采购单位:	深圳大学
项目名称:	玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（***×**尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于/寸晶圆，适配、**的材质，适应*以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。
预计采购时间:	******
联系人:	党老师
联系电话:	***********
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：****://****.******.***:****/****/******/*********/************/********/************************************.****