*.耐用的高品质不锈钢结构和固定装置，可调节托盘间距； *.配*路***流量计：最佳流量控制，支持各种工艺气体，如：氩气，氧，氢，氮等； *.气路控制：*路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等； *.真空泵：双级旋片泵，抽速≥**/*； *.设备尺寸及设备参数：设备外观*****(*)×*****(*)×*** **(*)；腔体容积：***；腔体尺寸***(*)****(*)****(*)**，*层高导电铝合金专用电极； *.功率****连续可调； *.腔体材质：进口 **** 不锈钢，军工级密封； *.控制系统：真空防呆、功率防呆、电源过热报警，工作时间可数字设定； *.人机控制：进口日本松下***加*.*寸触摸屏，直观的触摸屏，过程参数实时监控。

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