腔体材质：*** 不锈钢表面处理 供电电源：****** 工作电流：整机工作电流不大于 *.**(不含真空泵) 电源功率： ****** 旋钮可调,独立数字电源手自一体机，显示实际功率与反射 频率：**.*****（偏移量小于 *.****） 频率偏移量：小于 *.**** 特性阻抗：** 欧姆，自动匹配 真空度：*********（压力表量化值显示） 气体路数：双路气体输入 气体流量：**—*****/*** ( ******* 玻璃转子流量计可调) 过程控制：*** 人机界面自动与手动方式 清洗时间：****** 秒钟可调 功率大小：**%****%可调 内腔尺寸： 直径***×深度***** （** 容量） 外形尺寸： *** 长 **** 宽 **** 高 ** （台式） 重量：**** 真空泵： 飞越*****（含油雾过滤） 真空室温度：小于 **°* 冷却方式：强制风冷

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