2025年5月采购意向项目-4
2025-04-14
广东/深圳
招标采购
2025年5月采购意向项目-4
广东/深圳-2025-04-14 00:00:00
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****年*月采购意向项目**
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哈尔滨工业大学(深圳)等离子增强原子层沉积设备意向公开采购单位:哈尔滨工业大学(深圳)项目名称:等离子增强原子层沉积设备预算金额(元):*******.*采购品目:*********电子工业生产设备采购需求情况:用于沉积新型半导体器件所需的栅氧层,包括*****、***、****等。设备需配置*路前驱体源,包括*路液体源、*路加热源、*路臭氧源和*路有毒或易燃气体源;配置*套反应腔;支持最大晶圆尺寸*英寸;栅氧层沉积最小厚度≤***;等离子发生器功率≥****;反应室最高工艺温度≥***°*。联系人:简老师联系电话:(****)********预计采购时间:*******备注:本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。哈尔滨工业大学(深圳)
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