*. 卡盘≥*英寸，卡盘台 */* 方向的行程*英寸**英寸，移动精度≤*** *. 样品台*轴升降≥***,*型针座平台，台面最多可以同时容纳*个探针座 *. 单筒金相显微镜，配显示器，连续变倍比:*.***~**，配**倍金相物镜 *. *套直流针座，线性移动定位探针*****方向移动行程≥****，精度≤*.***；配*套探针夹具；**针直流钨探针，针尖直径*** *. 配套台式电脑一套 *. 高精度台式电阻计：电阻测量 ：基本精度:*.***%，最大测量电流:** 测量范围： 电阻测量: *.*** ***Ω(***Ω量程) ～ ****.**Ω(*****Ω量程)、** 量程 低通电阻测量: *.***Ω(*****Ω量程) ～ ****.**Ω(****Ω量程)、* 量程 *. 专业工程师上门安装培训

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