(*)芯片夹具 (*) **θ*轴芯片调节台 (*)水平/垂直**夹具 (*)水平光纤夹具 (*)垂直光纤夹具 (*)小型静音真空泵 具体参数：(*)定制，芯片根据客户定制(*)**轴中间调节结构，****行程，*微米灵敏度，θ*轴中间调节结构，***°行程，**''/格(*)**夹具，可以根据**大小制作满足宽度变化的结构宽度*~***，*度角(*)水平垂直光纤夹具(*)垂直单纤夹具***槽*°（*）小型静音真空泵

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（*）独立式多维度高性能观察系统 具体参数：***.**光学放大倍数,最大电子放大倍数***倍,*:*变焦 四维调节，行程****，含不锈钢立柱，不锈钢焊接底板，转接扣，转接板，镜头扣等夹具，焦距方向可以精密调节 镜头工作距离****；***万像素****相机，*接口，带十字线 环形灯，带测量，拍照，录像，绘图等 带高清显示器，多个显示器，可以用视频分割器，将不重要的图像二合一设计，一次可以看全面并且节省空间 俯视+侧视 分辨率：*********，像素尺寸：*.****.**μ* ； 镜头********** **镜筒********** ；*接口适配器********** 燕尾槽滑台*********** ； 不锈钢立柱********* 不锈钢焊接底板******** 不锈钢镜头防碰撞扣****** 立柱转接扣******* 滑台转接板*********** 镜头夹具*********** ****相机(含线缆)****** 高清显示器******** 环形光源******* 环形光源控制器***********

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（*）六轴调节架（右）（*）六轴调节架（左）（*）转接夹具 具体参数：(*)***行程**** ;****；****最小位移: ****,****，****，光栅尺****（高端伺服滑台，垂直轴带低摩擦气缸平衡负载，） θ*角度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 θ*角度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 θ*角度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 (*)最小位移：*.****行程： **** 最大速度：****/* 重复精度： +/**.*** ；θ*角度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 ； θ度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 θ*角度移动量:±*º 最小千分尺刻度: **"/小格 (*)连接各轴，使成一个六维整体，三轴共心设计，提高耦合效率

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(*)六轴运动控制器 (*)自动延时开关 (*)急停 (*)键盘 (*)显示器 (*)高速功率计 具体参数：(*)高精度步进*轴运动控制器，高精度伺服*轴运动控制器，含马达线 (*)延时开关与软件配合，延时启动各部分电气设备(*)紧急停止(*)鼠标键盘(*)显示器 (*)高速双通道光功率计，与系统配套光探测范围:****** ~ +****，显示精度： *.** **，波长范围： *****~******，采样率可调，最高采样率不低于 *****

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