深圳大学自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开

2025-04-24

广东/深圳

招标采购

深圳大学自动玻璃通孔专用溅镀机意向公开
广东/深圳-2025-04-24 00:00:00

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采购单位:	深圳大学
项目名称:	自动玻璃通孔专用溅镀机
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	真空应用设备
采购需求概况:	该溅镀机专用于玻璃通孔（*）的金属化工艺，需满足高深宽比（≥:）通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层（*******）及玻璃基板（*×**）的溅镀工艺，兼容英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠（如/、/、/等）的连续溅镀，确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率（≥**%）。
预计采购时间:	******
联系人:	张老师
联系电话:	***********
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准