深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开
2025-04-27
广东/深圳
招标采购
深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开
广东/深圳-2025-04-27 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开
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深圳技术大学教学线器件图形化结构制作设备意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 教学线器件图形化结构制作设备 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | *、 接触式双面光刻机 *.* 曝光面积：*英寸； *.* 光源：紫外***，曝光波长：*****：*******/***； *.* 分辨率：***；对准精度：±*.***（双面，片厚*.***）±*.***（单面） *、洁净烘箱 *.* 容 积（*）：*****双腔体； *.* 温度：** **～ ***℃多段程序控制。 *、匀胶烘胶一体机 *.* 集成匀胶机及可编程热板一体化设备； *.* 匀胶机样品尺寸支持*英寸（*****）圆晶及以下尺寸或碎片。含碎片、*英寸、*英寸、*英寸、碎片托盘各一个； *.* 转速范围：************，转速精度及重复性：±****；单步转动时间设置范围：******，旋转时间分辨率：**； *.* 热板可编程，样品尺寸：为*英寸（*****）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温****℃。 *、显影烘胶一体机 *.* 集成显影机及可编程热板一体化设备； *.* 显影机样品尺寸：支持*英寸（*****）圆晶及以下尺寸或碎片，含碎片、*英寸、*英寸、*英寸铝合金托盘各一个； *.* 转速范围：***********，转速精度及重复性：±****；单步转动时间设置范围：******，旋转时间分辨率：**； *.* 自动显影：*路显影液供给管路，*路***供给，*路**； *.* 可编程热板样品尺寸：为*英寸（*****）圆晶及以下尺寸或碎片；控制温度：室温****℃，温度均匀性：±*.*℃@*****范围。 *、有机清洗台 *.* 超声槽 槽体材质：内槽：石英；外槽：******；管件材质：***/****；溶液温度：*****±*℃； *.* ***槽 槽体材质：聚丙烯（***）；管件材质：***/****；溶液温度：**； *.* 水洗槽 槽体材质：聚丙烯（***）；管件材质：***/****；溶液温度：**； *、冷藏柜 *.* 体积大于****； *.* 温控范围****度，带高温报警系统。 *、氮气柜 *.* 控湿范围：*%**～**%** 全自动； *.* 体积≥*****。 *、双腔甩干机 *.* 两个甩干腔室,*个*寸旋转台，*个*寸旋转台； *.* 转速可设置范围：***********； 时间可设置范围：*****秒； *.* 基片适用范围：**********。 *、感应耦合等离子体刻蚀机 *.* 样片尺寸：*英寸样品台，兼容*英寸及以下尺寸样品刻蚀； *.* 本底真空：工艺腔本底真空≤*.*×******； *.* 气路系统：配置*路工艺气体（***、****、***或***、****、**、**） *路背**； *.* 电源系统：*****射频功率源，自动匹配；不小于****偏压源，自动匹配； *.* 工艺指标：刻蚀速率**≥*****/***；刻蚀不均匀性≤±*%@*英寸（********）。 **、去胶机 **.* 样片尺寸：*英寸样品及向下兼容； **.* 真空系统：极限真空＜***； **.* 气路系统：标配*路进气**和**； **.* 电源系统：****@**.*****射频功率源。 **、湿法腐蚀台 **.* 样品尺寸，*寸/*篮/批； **.* *号槽为铝刻蚀槽，*号槽为铬刻蚀槽，*号槽为***槽， */*/*槽为***槽；槽体材质*/*/*槽为聚偏氟乙烯（****）, */*/*槽为聚丙烯（***）； **.* 温度控制：*号槽独立温控器，溶液温度为*****℃±*.*℃，加热/冷却方式为恒温机；*号槽独立温控器，溶液温度为*****±*℃。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
