序号

货物名称

技术参数及要求

*

▲*射线光电子能谱仪（***）

*. 真空系统

*.* 分析室

*.*.* 真空腔体为厚度不小于 *** 纯μ金属制造， 极限真空≤*.*×**^*******；

*.*.* 配置机械泵，涡轮分子泵（抽速***升/秒）及钛升华泵各一套。

*.* 进样室

*.*.* 极限真空≤*.*×**^******；

*.*.* 配置涡轮分子泵和机械泵各一套；

*.* 样品制备室

●*.*.* 极限真空≤*.*×**^******；

*.*.* 配置涡轮分子泵和机械泵各一套；

*.* 配备自动真空烘烤装置；

*.* 真空监测装置：可实现大气至*.*×**^*******范围内压力连续测量，同时各真空腔室压力实时显示于系统软件界面上。

*. 单色化*射线源

*.* *射线源类型：微聚焦单色化** *_α*射线源

●*.* *射线源*源束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥*档；

●*.* 分析束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥**档；

*.* 最佳能量分辨率和灵敏度：以** **_*/*峰为例，半高宽≤*.** **时，计数率≥** ****；

*.* 常规能量分辨率和灵敏度

*.*.* 以** **_*/*峰为例，半高宽≤*.** **时，计数率≥*** ****；

*.*.* 以** **_*/*峰为例，半高宽≤*.** **时，计数率≥**** ****；

*.* 阳极靶靶点应≥**个。

*. 能量分析器

*.* ***°半球型能量分析器，半径≥*** **；

*.* 能量扫描范围：* ~ **** **；

*.* 通过能范围：* ~ *** **，连续可调；

●*.* 透镜模式：配置磁透镜模式和静电模式。

*. 检测器

*.*结构组成：至少配置一块可同时记录光电子发射位置及其强度的检测器；

*.*检测器信号线性范围：最高计数率≥**^****；

*.* 检测器物理通道数至少满足：***×***；

●*.*具备成像功能，对边缘锐利的刃口样品线扫描的最佳空间分辨率≤*.*μ*；

*. 荷电中和系统

*.* 荷电中和系统适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和，无需调节电压、束流和气压等操作；

*.* 结构组成

*.*.* 提供单电子源，中和电子能量不大于* **；

●*.*.* 提供超低能离子源，中和离子能量不大于* **；

●*.* 能量分辨率和灵敏度： 对***绝缘样品，在***=*结构中* **峰能量分辨（半高宽）≤*.****时，***/***结构中 * **峰的灵敏度≥** ****。

*. 样品控制和观察系统

*.* 样品台

*.*.* 轴向：五轴样品台，即*、*、*方向移动，倾斜和旋转，由计算机自动控制；

*.*.* 移动功能：*方向移动距离≥** **， *方向移动距离≥** **， *方向移动距离≥* **，移动精度≤* μ*，倾斜精度≤*°；

*.* 样品观察

●*.*.* 分析室：配置变焦***相机，通过软件控制可在不同的放大倍率下实时观察、精确定位分析位置和截取图像；通过可变焦***相机和实时成像系统确定分析位置，软件可自动确定最佳的分析高度；

*.*.*配置 *** 相机，可观察、精确定位分析位置和截取图像；

*.* 进样室和样品制备室均配置可一次装入并存储*个样品条的多样品停放台。

*. 深度剖析离子枪

*.* 离子源类型：配置单**原子和团簇**双模式的复合离子源；

*.* 可使用气体：**/**团簇，用于***深度剖析；

*.* 单**离子能量在*.* ~ *.* ***之间可调；

*.* 团簇**离子能量在*.* ~ *.* ***之间可调；

*.* 团簇**离子团簇数目在*** ~ ****之间可调；

*.* 气体控制：软件控制，配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。

*. 离子散射谱（***）功能

*.* 离子源：可使用**气作为分析离子源；

●*.* 能量分辨和灵敏度：使用* ***的**离子入射到清洁的 ** 表面上，**峰的能量分辨≤** **时其灵敏度≥** ****/**。

*. 反射电子能量损失谱（*****）功能

*.* 能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率为*.** ** 时，灵敏度应≥**** ****。

**. 紫外光电子能谱（***）功能

**.* 光源：全自动**紫外光源；

●**.* 最佳能量分辨率和灵敏度：对**费米边，当能量分辨率≤*** ***时，灵敏度（****）≥* ****；

**.*系统配有满足绝缘样品***分析时荷电中和需要的静电模式中和源。

**. 角分辨 *** 功能

**.* 配置步进马达样品托，最佳角度分辨≤*°；

**.* 内置角分辨 *** 数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。

**. 光纤导入模块

**.* 该模块需采用标准的 ** 接口，用于引入光纤；

**.* 预留光纤芯径≥*** μ*，波长范围***~**** **，最大功率≥* *；

**.* 配备一套线性驱动和扭摆装置，用于调节样品上光斑位置及焦点；

**.* 配备氙灯光源，光谱能量连续输出，能量范围******** **。

**. 加热制冷附件

**.* 分析室配备加热制冷附件和控制软件；

**.* 样品托温度调节范围至少满足：****℃~***℃，自动控温，温度控制精度*℃。

**. 等离子体清洗装置

**.* 功能要求：需能够有效清除腔体内附着的污染物；

**.* 安装法兰：******全金属密封法兰，带未漏阀。

**. 谱仪控制和数据处理

**.* 谱仪控制

**.*.* 谱仪参数设置、分析部件等均可通过系统软件控制；

**.*.* 系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪及加热冷却等控制；

**.*.* 仪器控制终端*台，用于操控仪器运行及数据收集，配置不低于***内存/***硬盘/** 英寸显示器；

**.* 数据处理

**.*.* 提供嵌入系统数据分析软件中的完整***和***等数据库，用户可直接调用标准谱图数据与原始测试数据进行对比；

**.*.* 数据处理终端*台，用于数据处理和存储，配置不低于***内存/***硬盘/** 英寸显示器，其中显示器不少于*个；

**.*.* 软件终生升级，提供正版不受限全功能完整版数据处理软件包≥*个，（费用含在报价中）。

**. 附件、备件及辅助设备

**.* 消耗品备件包*套（每套至少包括但不限于以下内容：阳极靶套件× *，单色阳极灯丝× *，荷电中和器套件× *，离子枪灯丝套件×*， *****电子枪灯丝×*，钛升华泵灯丝×*，机械泵油*升，循环水滤芯*个等），标准工具包*套，密封组件*套，减压阀*个（材质：黄铜×*，黄铜镍电镀×*）；

**.* 循环冷却水系统：满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要，恒温范围：****℃，循环泵流量：*.* */***；

**.* 不间断电源系统： 功率不低于****不间断电源*套，保证仪器待机时间≥*小时，工作时间≥*小时；

**.* 空气/水分敏感样品转移仓*套，可完全放置于仪器主机的进样仓内，具有高真空密封组件；

**.* 电动粉末压片机*套（压力范围 ****吨）；

**.* 电子防潮柜*套（综合控湿：**%***% **），电脑桌椅*套；

**.* 除湿机*台（除湿量（*/*）≤**），彩色双面激光打印机 *台（打印速度：黑白和彩色均为 **页/***；打印分辨率：最高可达****×**** ***）；

**.* 设备安装时必要的物理隔断和线路。

**. 整体配置清单

**.* ***主机系统 *套

**.* 复合式离子刻蚀套件 *套

**.* 紫外光电子能谱套件 *套

**.* 分析室加热冷却套件 *套

**.* 空气/水分敏感样品转移仓 *套

**.* 光纤导入系统（含氙灯光源） *套

**.* 低温等离子清洗系统 *套

**.* 循环冷却水系统 *套

**.* 不间断电源系统 *套

**.** 电动粉末压片机 *套

**.** 电子防潮柜 *套

**.** 消耗品备件包 *套

**.** 除湿机 *台

评分内容

评分标准

分值范围

技术参数及要求

根据投标文件对招标文件采购需求货物需求表中的“●”指标的响应情况进行评分：

●指标，每满足一项得*分，共**项，共计**分。

注：（*）如某项标识中包含多条技术参数或要求，则该项标识所含内容均需满足或优于招标文件要求，否则不予认可。

（*）以投标响应表和货物需求中要求提供的证明材料作为评审依据。

****分

业绩

自****年*月*日以来（以合同签订时间为准），投标人具有所投产品（同品牌可不同型号）的供货安装项目业绩，每提供*个业绩得* 分，满分*分。

注：投标文件中提供业绩合同及验收合格证明材料扫描件，如合同及验收合格证明材料中无法体现产品品牌、合同签订时间等评审因素，须另附业主单位盖章的证明文件扫描件。

***分