湖北工业大学**年月政府采购意向公开

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将（湖北工业大学） ****年 **（至）** 月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购单位	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
*	电子科学与技术学科实验平台	理学院	（一）采购内容：步进式紫外曝光系统台；超快激光微纳直写系统套；多功能球焊键合机台；逻辑电路验证平台套；（二）主要功能或目标：紫外曝光系统用于芯片光刻工艺，可应用于.和等先进封装；超快激光微纳直写系统配置高精度运动电机，配置窄脉宽激光光源，可实现微纳尺度的材料刻蚀，可应用于超分辨材料直写、超表面材料制备；多功能球焊键合机用于半导体器件的引线球焊等键合连接；逻辑电路验证平台用于大规模电子电路的功能验证；（三）需满足的需求：曝光系统对准精度≤.* μ，样片尺寸可为寸或* 寸；微纳直写系统要求定位精度优于.μ，行程可达***，纳米定位系统分辨率可达.**；球焊键合，压力范围: ～**，每可调；验证平台***芯片每套系统逻辑单元 ()不小于****，支持逻辑配置和仿真；	***	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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