IBE离子束刻蚀机
2025-04-22
广东/广州
招标采购
IBE离子束刻蚀机
广东/广州-2025-04-22 00:00:00
广东/广州-2025-04-22 00:00:00
中山大学先进能源学院***离子束刻蚀机采购项目
发布时间： ********** **:**
|
项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[****]***号 | ||
| 项目名称 | 中山大学先进能源学院***离子束刻蚀机采购项目 | ||
| 申购主题 | ***离子束刻蚀机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | ***,***.**(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | ********** **:** | 报名及响应结束时间 | ********** **:** |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 林老师 | 经办人电话 | ************ |
| 期望收货时间 | 合同签订后**天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学深圳校区工学园*栋 |
| 电子签章 | 本项目需要使用**签字 **操作手册下载 | ||
| 备注 | *、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 *、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第*条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 *、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。*、本项目需要使用**证书，请供应商根据指引（****://*******.****.***.**/*******/****）提前办理**证书。 *、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。*、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（*+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | ||
|
采购明细
| * 采购设备 | ***离子束刻蚀机 |
| 数量 | *台 |
| 参考品牌 |
“***离子束刻蚀机”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | *、样品尺寸：≥Φ*****； | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲*、采用单腔结构，尺寸≥Φ*****×*****；证明材料提供设备实物照片 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | *、腔体材质：***不锈钢表面电解抛光钝化处理； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、样品台：≥*****水冷，样品台旋转速度≥**转/分钟，可调整角度范围≥*****度； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、离子源尺寸：≥****； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、工作真空：≤**^****； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、抽气系统：分子泵（抽速≥****/*）+机械泵（抽速≥**/*）抽气机组； | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、极限真空：≤*.*×**^****； | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲*、控制方式：***+触摸屏控制方式；证明材料提供软件界面照片 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | ▲**、操作方式：工艺配方一键式全自动操作方式，可以设置和保存工艺参数；证明材料提供软件界面照片。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **、刻蚀气体：*个，采用***控制； | 重要 | 否 | 否 |
| ** | ▲**、离子源速流：可设定和跟踪，最大速流：≥***毫安；证明材料提供实物照片 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | ▲**、最大离子束能量：≥****电子伏特 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **、离子流密度：≥*毫安/平方厘米； | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **、*组灯丝，法兰水冷 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **、离子源电源：开关电源，液晶显示，电源参数、启动时间可设置，并可存储至少*组不同参数。加速极：≥**** *****，屏极：≥***** *****，阳极：≥**** **。 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **、电源具有***通讯接口。 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | 配置清单：主机 *台，循环水冷却器 *台，空气压缩机*台，离子源电源*台。 | 重要 | 否 | 否 |
|
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
|
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| * | 免费保修年限 |
*年 *年 *年 *年及以上 |
是 |
| * | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：****://***.*************.***:****/**********/********/******/****.***。注意： （*）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| * | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式（仅针对本项目授权请选择此项） |
是 |
| * | 售后服务要求 |
故障响应时间不超过*小时，如果所供货物出现采购方不能修复的故障时，在接到用户通知**小时内赶到用户现场，一般问题应在**小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在*周内解决或提出明确的解决方案； |
是 |
| * | 培训要求 |
提供的现场免费安装、调试设备，进行操作试验，直至运行正常，为仪器操作人员（不限人数）提供免费的操作及维护培训。 |
是 |
| * | 业绩要求：项目业绩：本次采购设备目的为半导体材料的表面抛光，供应商需提供从****年*月*日至今同类型产品业绩内容，需提供业绩合同或中标通知证明材料。注：*. 提供合同件的，业绩时间以合同签订时间为准，需提供合同关键页(含签订合同双方的单位名称、合同项目名称、签订合同双方的落款签字或盖章、签订日期的关键页等)； *. 提供中标证明材料的，需提供发票与中标证明材料的电子文件（或扫描件），业绩时间以中标证明材料发布时间为准。 |
*项 *项 *项 *项 *项 *项及以上 |
是 |
