广东-2025-04-21 00:00:00
广东中科半导体微纳制造技术研究院****年**月至****年**月政府采购意向
发布机构： 发布时间：********** **:**:**
采购计划编号： 预算金额： 采购品目：
代理机构： 项目经办人： 项目负责人：
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 关键尺寸量测扫描电镜 |
标的名称：关键尺寸量测扫描电镜
标的数量：*
主要功能或目标：其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，对晶圆上关键尺寸微观形貌表征的目的
需满足的要求：一、检测速率：应满足每小时检晶圆数量≥**片或每小时检测芯片数量≥***颗 二、平台定位精度要求：针对硅基光刻层，要求应包含******至+***** 三、需满足相同位置光学显微镜和电子显微镜切换位置偏差***;*.*μ* 四、颗粒增加数：要求每十片晶圆在*次连续作业后增加数量≤**（颗粒大小≥*.****） 五、测量视场范围：可对准范围应≤****，可测量范围应包含*.*****
|
落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
****年**月**日
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广东中科半导体微纳制造技术研究院****年**月至****年**月政府采购意向
发布机构： 发布时间：********** **:**:**
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 关键尺寸量测扫描电镜 |
标的名称：关键尺寸量测扫描电镜
标的数量：*
主要功能或目标：其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，对晶圆上关键尺寸微观形貌表征的目的
需满足的要求：一、检测速率：应满足每小时检晶圆数量≥**片或每小时检测芯片数量≥***颗 二、平台定位精度要求：针对硅基光刻层，要求应包含******至+***** 三、需满足相同位置光学显微镜和电子显微镜切换位置偏差***;*.*μ* 四、颗粒增加数：要求每十片晶圆在*次连续作业后增加数量≤**（颗粒大小≥*.****） 五、测量视场范围：可对准范围应≤****，可测量范围应包含*.*****
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落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
****年**月**日
