*.极限真空度≤********** (经烘烤除气后)； *.系统从大气开始抽气：腔体在**分钟内即可达到≤**********级别的工艺真空； *.*型箱体活开门结构，尺寸：≥***** ×***** ×*****； *.***不锈钢加工成型，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用氟橡胶圈密封； *.箱体采用水冷结构； *.箱体内设有防污染板； *.采用分子泵+机械泵抽气系统； *.分子泵抽速≥*****/* *.机械泵抽速≥**/*

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