硅光有源流片加工服务（清采比选20250513号）废止公告
2025-04-16
北京
招标采购
硅光有源流片加工服务（清采比选20250513号）废止公告
北京-2025-04-16 00:00:00
北京-2025-04-16 00:00:00
硅光有源流片加工服务（清采比选********号）废止公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
比选废止信息
| 比选废止理由： | 无供应商报价 无 | ||
|---|---|---|---|
| 采购项目名称 | 硅光有源流片加工服务 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告废止时间 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 硅光有源流片加工服务 | ** | 项 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥**,***.** |
| 技术参数及配置要求 | 基于****工艺线，采用*** ** *** 衬底（*** *μ*， 顶层硅 *** **），提供整套硅基光子器件制作工艺。主要工艺模块包括：*****/*****精度***光刻、*****/*****/****高精度刻蚀工艺、增强型*******光栅工艺、锗材料外延工艺、高速调制器和锗探测器的掺杂工艺、介质材料生长工艺、***加热器电极工艺、钨填充孔工艺、硅和锗的欧姆接触及金属互连工艺等。需要提供***与***服务。 |
| 质保期 |
清华大学
********** **:**:**
