高真空磁控溅射镀膜设备（XF-WSBX-2500103）采购公告
2025-04-15
浙江/杭州
招标采购
高真空磁控溅射镀膜设备（XF-WSBX-2500103）采购公告
浙江/杭州-2025-04-15 00:00:00
浙江/杭州-2025-04-15 00:00:00
高真空磁控溅射镀膜设备（***************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 高真空磁控溅射镀膜设备 | 项目编号 | *************** |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后***个工作日内 |
| 预算 | ￥***,*** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
|
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| 收货地址 | 玉泉校区第十教学楼二楼 | ||
采购清单*
| 采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|---|
| 高真空磁控溅射镀膜设备 | 否 | * | 台 | 真空应用设备 |
| 品牌 | |||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | |||
| 预算 | ￥***,*** | ||
| 技术参数 | *、溅射真空室腔体:*套 *)外形：优质***不锈钢*形真空室腔体*套，内部尺寸****×*****，后门采用铰链式刀口法兰，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，配视窗*套，前门采用横拉方门，配视窗*套； *)底部：*英寸磁控靶（美国科特莱思科）接口*套,清洗接口*套，照明接口*套，预留分子泵接口*套，； *)顶部：样品台接口*套，气动挡板接口*套； *)侧壁：预留法兰若干； *)腔体漏率：整体漏率优于*×*******.*^*/*，保压**小时，压强小于****。 *、磁控溅射系统：*套 *)磁控靶：*英寸普磁靶（美国科特莱思科）*套，靶材*英寸，靶头可摆动调节溅射角度，靶头内部水冷； *)清洗：基片清洗*套，可摆动调节； *)靶挡板：各溅射靶配独立挡板，以保证镀膜的工艺性（预溅射、单层膜、多层膜、掺杂膜等镀膜防止交叉污染和干扰等）； *)射频电源*台：****，自动匹配； *)直流电源*台：****。 *、样品台系统：*套 *)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速*～**转／分，通过触摸屏控制连续可调； *)基片升降：衬底与靶材间距********，电动升降，通过触摸屏控制连续可调； *)基片挂架：采用水冷台，接入冷水机冷水，承载*******基片**片； *)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。 *、配气系统：*套（*路工艺气体流量控制，如**，**等） *)质量流量控制器*套； *)高真空气动挡板阀*台； *)φ*电磁截止阀*套； *)φ*不锈钢管路*套。 *、设备机架：*套 *)**碳钢方管焊接机架*套，表面喷塑； *)*英寸万向轮*件，移动调整； *)地脚*件，锁紧定位。 *、电控系统：*套（电气控制采用设备机架和电控柜内置） *)烘烤照明电源：*台； *)总控制电源（配**英寸触摸屏，控制器，控制样品台，磁控靶挡板，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：*台； *、其他技术参数： *)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； *)供电：～****单相供电系统（峰值***）； *)供水：循环制冷水机，冷却水温度**℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃； *)供气：小型无油静音气泵，提供*.***.****气压，驱动气动阀门； *)真空室极限真空：优于*×**^****，大气至*×**^****时间优于**分钟（充干燥氮气）。 |
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| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:****小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;在设备交付两年内免费提供一次搬迁服务。服务内容包括设备分拆，设备指导包装，运输；设备在新场地的组装和调试。; | ||
浙江大学
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本项目采购需遵照《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》执行，适用“有效最低价成交原则”，成交后将采用电子签章的方式签要对应的
《重庆大学货物采购合同书》，请各位供应商仔细阅读本项目采购公告、《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》，确认其报价及后续履约完全符合上述要求。成交后，供应商以任何理由不签署合同或者签署合同后不按照合同履约的，均将列为不诚信供应商，一至三年内禁止参加重庆大学采购活动。
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术要求后再进行报价。且供应商响应的商务、技术要求须与采购人提出的商务、技术要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
