哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开
2025-04-14
广东/深圳
招标采购
哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开
广东/深圳-2025-04-14 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2025-04-14 00:00:00
哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开
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哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | 等离子增强原子层沉积设备 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 用于沉积新型半导体器件所需的栅氧层，包括*****、***、****等。设备需配置*路前驱体源，包括*路液体源、*路加热源、*路臭氧源和*路有毒或易燃气体源；配置*套反应腔；支持最大晶圆尺寸*英寸；栅氧层沉积最小厚度≤***；等离子发生器功率≥****；反应室最高工艺温度≥***°*。 |
| 联系人: | 简老师 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
