技术要求： 一、加热装置要求 *、腔室体积：不低于*.***； *、加热方式：采用电阻丝、硅钼棒或红外加热； *、有效温区：不低于*.***； *、工作温度：不低于****℃； *、最高温度要求：可达****℃； *、控温方式：模糊***控制和自整定调节，智能化**段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，并适配其他类型传感器更换使用。 *、控温精度偏差：±*℃以内； *、升温速度：至少**℃/***； *、炉门结构：半自动或自动； **、密封性：真空度**^** **或更低； **、空间要求：****×***×*** **以内； **、配备辅助降温装置 二、额外配置要求： *、该装置可移动范围达至少*.*米； *、配套真空泵：抽气速率不低于**/*； *、该腔室可通入一定量气体介质； *、配备辅助工具及备件

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