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第三章 用户需求书

四、技术要求

*.*样品架系统

★*.*.*可容纳数量大于或等于*个，尺寸大于或等于*********的蒸镀基片。

*.*样品架系统

★*.*.*可容纳数量大于或等于*个，尺寸大于或等于*********的蒸镀基片，膜厚均匀性误差≤±*%

*.*蒸发沉积系统

★*.*.*蒸发沉积系统≥**组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响；

*.*蒸发沉积系统

★*.*.*蒸发沉积系统≥**组蒸发源，每个源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响；

▲*.*.*石英晶振探头≥*个，采用的膜厚仪可同时显示≥*个膜厚探头的读数

▲*.*.*石英晶振探头≥*个，采用的膜厚仪可同时显示≥*个膜厚探头的读数，速率稳定性误差≤±*%

★*.*.*极限真空度≤****^****

★*.*.*极限真空度≤*.****^****

▲*.*.*从******到*×**^****≤*****（充氮气保护，从手套箱内操作）。

▲*.*.*从******到*×**^****≤*****（充氮气保护，从手套箱内操作）。

*.*手套箱系统

★*.*.*可得气体纯度：水≤****，氧≤****，泄露率≤*.******%/*。

*.*手套箱系统

*.*.*箱体材料：*** 不锈钢，厚度≥***；设备尺寸：长度≥******，深度≥*****，高度≥*****。

*.*.*可拆卸的钢化玻璃视窗，钢化玻璃厚度≥***，视窗与箱体之间的密封使用双层密封。

*.** ≥**个丁基橡胶手套，铝合金手套口（由实心棒材加工而成，原色氧化）

*.*.* ≥*套箱体照明，具备自动开关功能

*.*.*过渡仓，可拆卸，尺寸：直径≥Φ*****，长度≥*****，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序。

*.*.* ≥*个小过渡仓，焊接在箱体上，尺寸：直径≤Φ*****，长度*****，小过渡舱门杠杆密封，不接受卡扣按压式小仓门。

*.*.*气体纯化柱：≥*个纯化柱

*.*.*≥*个显示系统，安装在箱体上

*.*.*循环方式：循环根据设定指标，自动开启和关闭。

*.*.**百级除尘系统：≥*个，除尘系统上装有空调，控制箱体内温度。

*.*.**泄露率≤*.*****%/*

*.*.***_**≤**** ，*_*≤****

*.*.**氧分析仪：燃料电池，量程范围：包含*********，精度≤*.****。

*.*.**水分析仪：量程范围：包含****至**露点，屏幕上面***和露点自由切换。

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第三章用户需求书

五、商务要求

★*.* 交货时间：

从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后**天（日历日）内。

★*.* 交货时间：

从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后**天（日历日）内。

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评标信息

技术要求偏离情况

（一）评分内容：投标人应如实填写《技术要求偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得***分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣**分，一般参数每负偏离一条扣*分，扣完为止。

（一）评分内容：投标人应如实填写《技术要求偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得***分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣**分，一般参数每负偏离一条扣*分，扣完为止。