分子束外延系统改造(清采招第20250075号)单一来源公示
2025-04-17
北京
招标采购
分子束外延系统改造(清采招第20250075号)单一来源公示
北京-2025-04-17 00:00:00
北京-2025-04-17 00:00:00
分子束外延系统改造(清采招第********号)单一来源公示
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清华大学
分子束外延系统改造
采购
项目
单一来源公示
一、采购人：清华大学
二
、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：王琦
*****@********.***.**
四、项目名称：
分子束外延系统改造
采购项目
项目编号：清采招第
***
*****
号
五、采购内容：
分子束外延系统改造
六、采用单一来源采购方式原因及说明
拟购
分子束外延系统改造
项目
主要
用于
升级
现有的
****
*********
薄膜制备系统，
包
括加装全国产的定制化兼容
*
英寸晶圆的进样室
、
缓冲室及相应配件
，
以及
*
套中温金属元
素蒸发源炉、
*
套
**
金属有机物蒸发源炉
，
用以解决现有进样系统的衬底尺寸限制
及现有
铅、钛等元素蒸发源老化后蒸发速率较慢等问题，确保大尺寸铁电薄膜的高效制备
。
由于该设备为现有进口的氧化物分子束系统的改造升级
，
前期涉及了与费勉仪器工程师
团队的大量技术参数沟通讨论
，
属于高度定制化的设备方案
，
且部分部件费勉为唯一国产供
应商
（
如
*****
低温源
）
，
目前国内没有其他公司能提供替代方案
，
故采用单一来源的方式
进行。
七、
主要
配置
：
主要包含
*
套缓冲室
、
*
套快速进样室
、
*
套热唇蒸发源
（
*****
）
、
*
套
*****
低温源
以及结构支撑件等附件
。
八、
供应
商：
费勉仪器科技（南京）有限公司
供应商
地址
：南京市江北新区智达路
*
号智城园区
*
号楼
九、征求意见期限从
***
*
年
*
月
**
日至
***
*
年
*
月
**
日止。
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