*、内腔尺寸： ***×***×***（**） *、材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采****医用级不锈钢 *、温度范围：**+******℃ *、温度分辨率：*.*℃ *、温度波动度:≤±*.* *、真空度:≤*****（ *****） *、电源及总功率：** ****±**% / ****,总功率约 *.*** *、操作方式：人机界面 *、搁板层数：*层 **、****控制：可控制 ****药液添加时间 **、药液泄露检测：****泄露报警装置 **、真空泵：双旋片真空泵 **、保护装置：超温保护，漏电保护等 **、预处理性能：在经过数次的氮气置换再进行的 ****处理，不会有尘埃的干扰，将"去水烘烤"和 ****处理放在同一道工艺，同一个容器中进行。 **、处理均匀：以蒸汽的形式涂布到晶片表面上。 **、高效率：一次可以处理多达*盒（*寸）的晶片。 **、环保和安全：整个过程在密闭的环境下完成的，无法接触到药液及其蒸汽，尾气直接由机械泵抽到尾气处理机，不会造成环境污染。 **、自动吸取****功能：智能型的程式设定，一键完成作业。****气体密闭式自动吸取添加设计，设备密封性能佳，确保****气体无外漏顾虑。

*、质保期：验收合格之日起，整机免费保修*年，系统软件终身免费升级服务； *、中标后*天内由原厂送货至指定地址并进行现场安装调试； *、商品承诺：原厂全新未拆封正品，需送货上门，拒绝快递，拒绝拆改(后期升级无效)。 *、装机时需***热线确认为原厂设备； *、中标商须提供安装调试服务，安装人员须为原厂技术人员，供货时提供原厂技术人员证明文件加盖原厂公章。驻场调试时间不少于*个工作日，测试无异常方可验收通过，费用由中标商自行承担。