*，配置：高精密五维调节架，高精密垂直调节架，多维度观察组件，垂直观察组件 *，平面位移行程优于****θ*θ*角度移动量不小于±*° θ*角度移动量≤ ±*°，运动控制器≥*轴； *，软件：可以设置步进，点动，能够编辑流程，带接触传感软件，可以设置速度； *，芯片台：**轴行程≥***， θ*轴中间调节结构 温控器范围优于***° 压力传感精度不大于***/*； *，观察镜头组： 最大电子放大倍数不小于**** 含调节，调节行程≥****

质保一年。在质保期间出现故障，接收到用户通知后于*小时以内予以回应、**小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由乙方负责免费修复，失效零件予以免费更换