电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选20250033号)采购公告
2025-01-08
北京
招标采购
电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选20250033号)采购公告
北京-2025-01-08 00:00:00
北京-2025-01-08 00:00:00
电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选********号)采购公告
发布时间:********** **:**:**阅读量:次
采购项目名称 | 电子束蒸发薄膜沉积系统 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
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公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
签约时间要求 | 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
采购单位 | 清华大学 | ||
最高限价 | ¥***,***.** 未公布 | ||
国内合同付款方式 | 合同签订后**%,到货后**%,验收合格后**% | ||
交货地址 | 北京市清华大学 | ||
供应商特殊资质要求 |
无 |
采购清单*
物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
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电子束蒸发薄膜沉积系统 | * | 台 |
品牌 品牌* | 安徽嘉硕 |
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型号 | *********型 |
品牌* | |
型号 | |
品牌* | |
型号 | |
单价 | ¥***,***.** |
技术参数及配置要求 |
*、设备适用于*英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积,*英寸样品不均匀性≤±*%; *、设备用于蒸镀金属及氧化物半导体薄膜,纳米级单层及多层功能薄膜; *、设备极限真空度优于*.*×******,真空漏率≤******.*/*,真空室从大气到抽到≤*.*×******,小于*****; *、 样品台加热或水冷结构兼容二选一,加热样品台控温精度±*℃,配置水冷样品台可升降可旋转; *、电子枪功率*****可调;带预熔功能 |
质保期 | **个月 |
清华大学
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