电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选20250033号)采购公告
2025-01-08
北京
招标采购
电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选20250033号)采购公告
北京-2025-01-08 00:00:00

电子束蒸发薄膜沉积系统(清采比选********号)采购公告

发布时间:********** **:**:**阅读量:次
采购项目名称 电子束蒸发薄膜沉积系统 采购项目编号 清采比选********号
公告开始时间 ********** **:**:** 公告截止时间 ********** **:**:**
对外联系人 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 联系电话 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭
签约时间要求 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同,采购单位有权取消或变更采购结果) 交货时间要求 签订合同后**个工作日内
采购单位 清华大学
最高限价 ***,***.** 未公布
国内合同付款方式 合同签订后**%,到货后**%,验收合格后**%
交货地址 北京市清华大学
供应商特殊资质要求

采购清单*
物资名称 采购数量 计量单位
电子束蒸发薄膜沉积系统 *
品牌 品牌* 安徽嘉硕
型号 *********型
品牌*
型号
品牌*
型号
单价 ***,***.**
技术参数及配置要求 *、设备适用于*英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积,*英寸样品不均匀性≤±*%;
*、设备用于蒸镀金属及氧化物半导体薄膜,纳米级单层及多层功能薄膜;
*、设备极限真空度优于*.*×******,真空漏率≤******.*/*,真空室从大气到抽到≤*.*×******,小于*****;
*、 样品台加热或水冷结构兼容二选一,加热样品台控温精度±*℃,配置水冷样品台可升降可旋转;
*、电子枪功率*****可调;带预熔功能
质保期 **个月

清华大学

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