氧化镓器件加工（Dlmu-FS-20250013）单一来源公示
2025-01-21
辽宁/大连
招标采购
氧化镓器件加工（Dlmu-FS-20250013）单一来源公示
辽宁/大连-2025-01-21 00:00:00
,
辽宁/大连-2025-01-21 00:00:00
氧化镓器件加工（
****************
）单一来源公示
项目编号：
****************
项目名称：氧化镓器件加工
公示时间：
****
年
**
月
**
日
* ****
年
**
月
**
日
拟成交单位 ：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购预算：
*****.**
采购内容：方案一工艺
:
（正片：
*
片；陪片：
*
片） 清洗
:
标准
***
清洗 阴极金属
金属沉积
:
电子束蒸发工艺
**/**(**/*****)
，工作真空
:******
预处理
:
丙酮（超声清
洗
* ***
）。 乙醇（超声清洗
* ***
）。 去离子水（超声清洗
* ***
）。 去离子水
（冲洗
** ***
）。
***:
利用
***
依次生长
********
和
********
作为氧化镓与阳极金
属之间的夹层 阳极金属金属沉积
:
电子束蒸发工艺
**/**(**//*****)
，工作真空
:***
***
退火
:
器件制备完成后，在
**
气氛下，退火温度为
***°*
、
***°*
，退火的时间为
*
分钟，退火结束后待样品冷却后取出，防止样品被热氧化 划片
:
将四吋氧化镓品圆切
割成
*******
的小片 方案二工艺
:
（正片：
*
片；陪片：
*
片） 清洗
:
标准
***
清洗 阴
极金属金属沉积
:
电子束蒸发工艺
**/**(**/*****)
，工作真空
:******
预处理
:
丙酮
（超声清洗
* ***
）。 乙醇（超声清洗
* ***
）。 去离子水（超声清洗
* ***
）。 去
离子水（冲洗
** ***
）。
***:
利用
***
生长
********
和
********
作为氧化镓与阳极
金属之间的夹层 阳极金属金属沉积
:
电子束蒸发工艺
**/**(****/*****)
，工作真
空
:******
退火
:
器件制备完成后，在
**
气氛下，退火温度为
***°*
、
***°*
，退火的
时间为
*
分钟，退火结束后待样品冷却后取出，防止样品被热氧化 划片
:
将四吋氧化镓
品圆切割成
*******
的小片 方案三工艺
:
（正片：
*
片；陪片：
*
片） 清洗
:
标准
***
清洗 阴极金属金属沉积
:
电子束蒸发工艺
**/**(**/*****)
，工作真空
:******
预处
理
:
丙酮（超声清洗
* ***
）。 乙醇（超声清洗
* ***
）。 去离子水（超声清洗
*
***
）。 去离子水（冲洗
** ***
）。
***:
利用
***
依次生长
********
、
********
和
******
作为氧化镓与阳极金属之间的夹层 阳极金属金属沉积
:
电子束蒸发工
艺
**/**(**//*****)
，工作真空
:******
退火
:
器件制备完成后，在
**
气氛下，退火
温度为
***°*
、
***°*
，退火的时间为
*
分钟，退火结束后待样品冷却后取出，防止样
品被热氧化 划片
:
将四吋氧化镓品圆切割成
*******
的小片
单一来源理由：本次采购的氧化镓器件加工，需要将
*
寸的氧化镓晶圆切割成
*×***
的方形小片，并在此基础上利用
*×***
的氧化镓小片为衬底制备氧化镓功率器
件。器件的加工需要在超高真空下进行，同时需要采用
***
生长
********
、
********
和
******
，采用电子束蒸发方法来沉积
**/**
，而且加工时需要适当的基片加热温度，加
工过程需要特定的综合工艺制备方案。另外根据图形化需求，需要加工单位具有比较成
熟的刻蚀技术。 经调研，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（苏纳所）的纳
米加工平台长期从事半导体材料与器件、工艺相关研究。并且在氧化镓制备中具有多项
相关专利，具备丰富的工艺开发和整合经验，适于承接该类研发器件代工工艺技术支持
与搭载流片服
务
（特
别
适合于具有
实
验
性质
的器件加工）。
因
此，苏纳所的加工平台
是
目
前唯
一
能够满足
本次器件加工要求并
愿意提供
加工服
务
的单位。拟
申请
采用单一来
源采购方
式
。
论证
小
组
成
员
：
曹菲
,
宋延兴
,
张维
有关单位
或个人如对
本项目采用
校
内单一来源采购方
式
有
异议
，
应
在公示期内
以书
面
形
式向大连海
事
大
学
招投
标与采购中
心反映
。
联系人
：
崔迪
联系
电
话
：
*******
*
***
国有
资产
与
实
验
室管
理处
招投
标与采购中
心
****
年
**
月
**
日
