深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
2025-03-07
广东/深圳
招标采购
深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
广东/深圳-2025-03-07 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
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深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 微纳加工中心工艺设备安装配套系统 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况: | *.*** ：排风、电力、给排水、大宗气体*套；*.******* ：排风、电力、给排水、大宗气体*套；*.自动涂胶显影机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；*.激光直写光刻机：电力、给排水、大宗气体*套；*半自动接触对准光刻机：电力、给排水、大宗气体*套；*.晶圆键合机：排风、电力、大宗气体*套；*.等离子体清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；*.喷胶机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；*.****真空烘箱：排风、电力、大宗气体*套；**.无氧烘箱：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.通风橱：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.手动显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.半自动显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.洁净烘箱*(*********)：排风、电力、大宗气体*套；**.洁净烘箱*(*********)：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.清洗甩干机*：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.****：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.*** ：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.***介质 ：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.***金属 ：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.*** ***** ：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.*****：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.****：排风、电力、大宗气体*特气、尾排*套；**.******：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.*****：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.***：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.***：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.*****：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.*******(金属)：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.*******（介质）：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.******蒸镀*：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.******蒸镀*：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.光学电子束蒸发镀膜机：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.热蒸镀：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排*套；**.***：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.台阶仪：电力、大宗气体*套；**.薄膜应力仪：排风、电力、大宗气体*套；**.椭偏仪：电力、大宗气体*套；**.***：电力、大宗气体*套；**.***：电力、给排水、大宗气体*套；**.***：电力、给排水、大宗气体*套；**.离子溅射仪：电力、大宗气体*套；**.解胶机：电力*套；**.超声扫描显微镜：电力、给排水、大宗气体*套；**.贴膜机：电力、大宗气体*套；**.激光隐切（************）：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.化合物激光隐形切割：排风、电力、大宗气体*套；**.晶圆裂片机：电力、给排水、大宗气体*套；**.划片机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.划片清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.*** (********)：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.***后清洗设备********：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.减薄机********：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.扩膜机：电力、大宗气体*套；**.抛光机*******：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.贴蜡机*********：电力、给排水、大宗气体*套；**.清洗甩干机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.湿法刻蚀：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.化学刻蚀清洗台*：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.化学刻蚀清洗台*：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.湿法刻蚀清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.洁净烘箱*(*********)：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.临界点干燥：排风、电力、大宗气体*套；**.半自动掩模版清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体*套；**.湿法氧化炉（*****）：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.卧式*****：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.高温烤盘炉：排风、电力、给排水、大宗气体*特气、尾排*套；**.**纯化器：排风、电力、大宗气体*特气*套；**.大流量氢气发生器(*)：排风、电力、给排水、大宗气体*特气*套。 |
| 联系人: | 吴国才 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
