*. *.光谱范围：≥********** *.光谱测量间隔：＜*** @****** *.单点测量时间：＜*** *.光斑尺寸：＜***μ*，消透明衬底背反 *.光强调节方式：≥*档光强切换挡，根据光强信息切换最佳挡位 *.偏振参数：******* ******：**组，***：****°，*****：*******° *. *******功能：***********（*/*/*/* ****** *****）全片自定义多点定位测量能力 *.找焦功能：≥****，自动找焦 *.样品台：*/*/*自动，满足尺寸φ*****样件真空负压吸附固定测量 **.膜厚重复精度：优于*.****（***** ****/**，** *******，*σ） **.折射率重复精度：优于*.****（*@***.***,***** ****/**，** *******，*σ） **.偏振精度：非对角元素*=*±*.***（测量裸硅全波段**%满足） **.退偏指数：优于±*.*%（测量裸硅，全波段**%满足） **.分析软件：数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；具备多层各向同性/异性光学薄膜建模仿真与分析功能 **.测控服务器：***：***** **** ** *********，***：≥**，***：≥**（***+***），显示器：≥**寸， *******操作系统