*、有机真空室腔体:*套
*) 外形：***优质不锈钢*形前后开门真空室腔体*套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸**********，前后门各配*****视窗*套；
*) 底部：有机源接口*套，********风冷复合分子泵接口*套，****照明接口*套以及美国*****水冷膜厚探头接口*套；
*) 顶部：样品台接口*套，电动挡板接口*套，***********高真空气动挡板阀接口*套；
*) 左侧：***********超高真空气动挡板阀接口*套。
*、有机源系统：*套
*) 有机蒸发源*套：***石英舟，温控电源*台（温控表显示精度*℃），温度区间：室温****℃（控温精度±*℃），配气动挡板；
*) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。
*、样品台系统：*套
*) 基片旋转：转速*～**转／分连续可调；
*) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距*********通过触摸屏连续可调；
*) 基片挂架：***×*****基片台，比如可安装**×****基片**片，可按照客户定制；
*) 基片挡板：电动挡板。
*、真空泵机组：*套 *) ********风冷复合分子泵*台；
*) ******双级泵*台
*) *********气动超高真空插板阀*台；
*) ***********超高真空气动挡板阀*台；
*) ***********高真空气动挡板阀*台；
*) ***********高真空气动挡板阀*台；
*) ***********真空电磁充气阀*台；
*) ****泵阀连接软管*套，****三通*套；
*) ********数显真空计*台（测量范围：*×***～*×******）。
*、膜厚检测系统：*套
*) 膜厚仪：美国*******，******两通道石英晶振膜厚监控仪*套；
*) 膜厚探头：美国*****水冷膜厚探头*套。
*、设备机架：*套
*) **碳钢方管焊接机架*套，表面喷塑；
*) *英寸万向轮*件，移动调整；
*) ***地脚*件，锁紧定位。
*、其他电控系统：*套（电气控制采用电控柜与设备机架内置）
*） 电控柜：*台；
*） 烘烤照明电源：*台；
*） 总控制电源（配**英寸触摸屏，***控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：*台；
*、其他技术参数：
*) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
*) 供电：～****两相供电系统（峰值***）；
*) 供水：小型冷水机，冷却水温度*℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃；
*) 供气：小型无油静音气泵，提供*.***.****气压，驱动气动阀门；
*) 极限真空：优于*×******，大气至*×******时间优于**分钟（充干燥氮气），关机**小时真空度≤****。
