| *.*执行机构单元：实现高负载、长距离的样品转运功能。机械臂臂展≥*****，负载≥***；配备一体化柔性电动夹爪，行程≥****，可有效完成样本前处理作业；
*.* 配套附件单元：脚踏开关或光电传感器，可适配手套箱大小仓的关门动作需求；
*.* 机架单元：机架及防护外壳，符合整机集成与外观一致性要求；
*.* 采用四轴机械臂，自由度为*；
*.* *轴臂长为 *** **，*轴臂长为 *** **，臂展为 *** **；* 轴旋转角度为 ±**°；* 轴旋转角度为 ±***°；* 轴行程为 *** **；负载≥ * **；重复定位精度优于 ±*.** **；线速度≥******/*；机械臂整机重量＜****；支持碰撞检测与拖动示教；
*.* 夹具总行程≥ ** **；夹具加持力范围**~** *；
*.* 视觉模块像元尺寸为 *.** μ*×*.** μ*；分辨率为 ****×****；最大帧率为 *.* ***；曝光时间为 ** μ*~* *；
*.* 吸盘治具驱动方式为电动；吸力范围 **~** *；吸嘴材质为软质硅胶或导电硅胶（防划伤、防 ***）；
*.* 线性电机单元：精确控制底部探针与样品载具之间的接触，形成稳定电流通路，用于薄膜输运性能的电学测试。可实现探针杆组件与 ******* 冷箱中心口的自动横移对位、下降插入与密封对接；
*.*.*轴行程≥*****;*轴行程≥******;中心口对位精度≥*.***；
*.* * 轴升降电机配电磁失电制动器（断电自锁），防止垂直负载意外下滑；
*.* 加工件为无磁材料，包括但不限于铝合金、******；
*.* 单次测试基片数量≥** 个，每片测试端数≥*端；
*.*接触样品的方式为线性电机驱动弹针主动下压；
*.* 可与******* *******冷箱型号对接；
*.* 系统应兼容 *****、*****、*/*、****、***/**、**********/***协议中的至少两种；系统具备与 ****/*** 系统、第三方设备及各组件进行数据交互的能力；系统支持使用边缘控制器进行控制；
*.* 电控系统，以动态资源优化为核心，通过多维度算法实现产线任务的智能编排与高效执行，并支持跨平台协作与全流程监控；采用*/*架构，可在 **、平板终端无缝运行，实现多任务并行处理；集成智能排程引擎，可根据任务类型、设备状态及资源占用动态调整执行顺序；支持自动化预排程模式、优先级插入模式、*** 调度、机械臂上下料、低温工位对接密封、分片收料产线工序编排及动态容错机制；提供拖拽式任务编排界面，实现任务进度与资源占用的直观展示；
*.* 系统应支持****/***实时数据流，数据内容须包含基片编号、时间戳、测试位点、温度、真空度、电导/电阻测量值、设备状态码与警报码；系统的命令响应时间应不大于**；系统的链路时延应不大于*****；
*.* 系统应具备故障日志自动上传功能；系统应提供远程诊断接口；
*.* 系统应提供图形化界面并支持拖拽式操作，用户可通过流程图、节点图方式直观设计实验步骤；
系统应提供镀膜上下料、低温对接密封、分片收料等预定义模板，以降低用户学习成本；
系统应支持节点类型变更操作，节点类型须包含操作节点（如镀膜上下料、低温对接密封、分片收料）、条件分支（如阈值判断）、循环控制；
*.* 系统的实时状态反馈刷新间隔应不大于**。系统应可视化展示设备运行状态（如温度、真空度、动作节拍进度）及流程执行进度。系统应具备异常处理机制，支持预设中断条件（如超温报警），并可触发暂停、回退或通知操作员。
响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。 |
