| *.*执行机构单元:实现高负载、长距离的样品转运功能。机械臂臂展≥*****,负载≥***;配备一体化柔性电动夹爪,行程≥****,可有效完成样本前处理作业; *.* 配套附件单元:脚踏开关或光电传感器,可适配手套箱大小仓的关门动作需求; *.* 机架单元:机架及防护外壳,符合整机集成与外观一致性要求; *.* 采用四轴机械臂,自由度为*; *.* *轴臂长为 *** **,*轴臂长为 *** **,臂展为 *** **;* 轴旋转角度为 ±**°;* 轴旋转角度为 ±***°;* 轴行程为 *** **;负载≥ * **;重复定位精度优于 ±*.** **;线速度≥******/*;机械臂整机重量<****;支持碰撞检测与拖动示教; *.* 夹具总行程≥ ** **;夹具加持力范围**~** *; *.* 视觉模块像元尺寸为 *.** μ*×*.** μ*;分辨率为 ****×****;最大帧率为 *.* ***;曝光时间为 ** μ*~* *; *.* 吸盘治具驱动方式为电动;吸力范围 **~** *;吸嘴材质为软质硅胶或导电硅胶(防划伤、防 ***); *.* 线性电机单元:精确控制底部探针与样品载具之间的接触,形成稳定电流通路,用于薄膜输运性能的电学测试。可实现探针杆组件与 ******* 冷箱中心口的自动横移对位、下降插入与密封对接; *.*.*轴行程≥*****;*轴行程≥******;中心口对位精度≥*.***; *.* * 轴升降电机配电磁失电制动器(断电自锁),防止垂直负载意外下滑; *.* 加工件为无磁材料,包括但不限于铝合金、******; *.* 单次测试基片数量≥** 个,每片测试端数≥*端; *.*接触样品的方式为线性电机驱动弹针主动下压; *.* 可与******* *******冷箱型号对接; *.* 系统应兼容 *****、*****、*/*、****、***/**、**********/***协议中的至少两种;系统具备与 ****/*** 系统、第三方设备及各组件进行数据交互的能力;系统支持使用边缘控制器进行控制; *.* 电控系统,以动态资源优化为核心,通过多维度算法实现产线任务的智能编排与高效执行,并支持跨平台协作与全流程监控;采用*/*架构,可在 **、平板终端无缝运行,实现多任务并行处理;集成智能排程引擎,可根据任务类型、设备状态及资源占用动态调整执行顺序;支持自动化预排程模式、优先级插入模式、*** 调度、机械臂上下料、低温工位对接密封、分片收料产线工序编排及动态容错机制;提供拖拽式任务编排界面,实现任务进度与资源占用的直观展示; *.* 系统应支持****/***实时数据流,数据内容须包含基片编号、时间戳、测试位点、温度、真空度、电导/电阻测量值、设备状态码与警报码;系统的命令响应时间应不大于**;系统的链路时延应不大于*****; *.* 系统应具备故障日志自动上传功能;系统应提供远程诊断接口; *.* 系统应提供图形化界面并支持拖拽式操作,用户可通过流程图、节点图方式直观设计实验步骤; 系统应提供镀膜上下料、低温对接密封、分片收料等预定义模板,以降低用户学习成本; 系统应支持节点类型变更操作,节点类型须包含操作节点(如镀膜上下料、低温对接密封、分片收料)、条件分支(如阈值判断)、循环控制; *.* 系统的实时状态反馈刷新间隔应不大于**。系统应可视化展示设备运行状态(如温度、真空度、动作节拍进度)及流程执行进度。系统应具备异常处理机制,支持预设中断条件(如超温报警),并可触发暂停、回退或通知操作员。 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。 |