中北大学高品质铌酸锂微纳器件加工服务竞价公告
2026-10-20
山西/太原 招标采购
中北大学高品质铌酸锂微纳器件加工服务竞价公告
山西/太原-2026-10-20 00:00:00
山西/太原-2026-10-20 00:00:00
高品质铌酸锂微纳器件加工服务竞价公告
发布日期：**********
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| 项目名称 | 高品质铌酸锂微纳器件加工服务 | 项目编号 | ************** |
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 采购单位 | 中北大学 | 付款条款 | 分期付款：本合同生效后的 ** 日内，甲方向乙方支付合同金额的**%；货物交付给甲方并完成安装、调试、培训等服务以确保甲方正常使用后，甲方按照内部规章制度的要求验收合格后，乙方按照甲方的要求开具相应金额的发票，甲方在收到发票后向乙方支付剩余合同金额。乙方未按期开具或者所开具的发票不符合约定的，甲方有权延期付款，不构成违约。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采购预算 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后**天内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省太原市尖草坪区学院路三号中北大学 | ||
| 履约保证金 | 合同金额的*%作为保证金 | ||
| 项目概况 | 本项目面向高精度传感与集成光子学需求，开展薄膜铌酸锂折叠型电光调制器及高*值光学微腔的研制与加工。铌酸锂具有优异的电光、非线性及宽透明窗口特性，是实现高性能片上传感与信号调控的关键材料。项目拟通过折叠波导结构减小调制器尺寸、降低驱动电压并提升调制效率；通过高*微腔增强光与物质相互作用，提升传感灵敏度、分辨率和探测极限，服务于生化检测、电场/磁场传感、惯性传感及微弱信号探测等应用。研究内容包括器件版图设计、电子束光刻、*******刻蚀、*****沉积、金属电极、退火、划切抛光与端面耦合等关键工艺。器件对侧壁粗糙度、刻蚀深度、薄膜损耗及工艺一致性要求极高，加工质量直接决定*值、插损和传感性能。因此需采购专业微纳加工外协服务，完成高精度加工与工艺迭代，保障项目指标与进度。 | ||
采购清单
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| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求 | |
| 薄膜铌酸锂调制器流片加工服务 | 否 | 片 | ** | *. 验收后 ≥ ** 个月技术答疑；校方版图/数据不得用于其他客户。 *.供应商具备合法有效的营业执照，经营范围涵盖相关微纳加工工艺。 | |
| 参考品牌及型号 | 不限定品牌型号 | ||||
| 技术参数要求 | *. *）** 薄膜厚度 ***/*** ** ，刻蚀深度误差 ≤ ±** ** ，侧壁倾角 ≥ **°（优值 ≥ **°) ; *. *）单模波导损耗 ≤ *.* **/** ，优值 ≤ *.* **/**； *. *）端面耦合器单端插损 ≤ *.* **/***** ，* ** 带宽 ≥ *** **； *. *）热调电极 π 相移功耗 ≤ ** ** ，时间常数 ≤ ** μ* ，相邻通道热串扰 ≤ * ** **； *. *）*** 调制器交互长度 ≥ ** ** ，分段电极有效电场放大倍数 ***; **； *. *）电光 * ** 带宽 ≥ ** *** ，*π·* ≤ * *·** ，消光比 ≥ ** **； *. *）行波电极特征阻抗 ** ± * Ω , *** ≤ * ** ** @ **–** *** ，*** ≤ * ** @ ** ***； *. *）微腔 *** ***; ** *** ，本征 * ≥ *×**？（目标 *×**？) ; *. *）芯片尺寸 ***; ** ** × * **； **. **）*** 最小线宽 ≤ *** ** ，最小曝光间隙 ≤ ** **；****** 最小线宽 ≤ *** **； **. **）交付工艺报告、*** 、测试谱线及 ≥ ** 颗合格芯片； **. **）验收后 ** 个月工艺技术支持，非校方设计错误导致的不达标提供一次免费复加工或按比例退款。 | ||||
剩余时间：**天**:**:**
该项目其它公告
