极限压力：≤*×****** *工作压力：*.* **～*.*** *真空室升压率：≤*.***/* *工件尺寸：≤***×***（**） *薄膜均匀性：直径Φ*****范围内薄膜均匀性≤±*%；直径Φ*****范围内薄膜均匀性≤±**% *真空室模块： *.*水冷不锈钢真空室，内腔体约*************（*****）（**），真空腔室前端设置有前滑开门组件，主要由线性导轨装置，侧滑门，滑板，锁紧气缸机构和导向支撑机构等组成。并具有与标准手套箱相匹配的连接法兰，可根据需要配置相应的手套箱。真空腔室后端，通过铰链机构连接有后开门组件，后开门上设置有一套观察窗装置及手动挡板机构。 *.*真空室预留多组刀口法兰等连接附件 *.*真空室内部四周、上部分别设置有多组镜面不锈钢屏蔽板及连接附件 *真空系统： *.*高真空分子泵系统，配置有******分子泵，*****高真空气动插板阀，由进口旋转气缸驱动的磁流体密封的*****气动光栏阀，进口****、****气动角阀，高真空电磁压差阀，真空管道及波纹管组件 *.*真空测量及破空系统包含：全量程冷阴极规(*)、皮拉尼复合低真空计(*)、充气阀（*）及连接件 *机架及主机辅助动力：机架为框架式结构，由铝型材加工组装而成。机架下方连接有可调节的支撑脚轮,便于设备的整体移动及到位支撑；冷却水系统固定在机架上。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）