工件加热组件：管状加热器及多层屏蔽结构，工件加热温度不低于*** ℃ *旋转悬浮工件架组件：由步进减速电机驱动磁流体装置，转速*～*****，连续可调 *气动挡板组件：由旋转气缸驱动磁流体装置组成 *摄像头组件：摄像头组件设置在真空室上方，可实时观察离子枪工作状况 *石英晶体膜厚测量仪：厚度范围：**** μ ***** *工艺气体控制组件：独立工艺气体控制柜，由质量流量计、连接支板、气动隔膜阀和*/*”***接口管路、密封连接件、混气管体、氩气管体及管路接头组成 *真空室布气组件：匀气布气焊接管路、卡套式连接结构

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）