（*）独立的电气系统控制柜，主要安装有专用***软件的工控机和负责具体执行及保护的***组成的上下位机控制系统。用户主要通过工控机上的***人机界面对设备进行状态监视及控制。工控机通过与***连接的以太网线进行操作及数据交换。 （*）西门子***通过**/**、**/**等方式与流量计、分子泵、电源等设备进行数据交换。对真空系统，工艺气体流量，电源系统等进行控制，具有多级报警，互锁保护，多种操作权限等功能。 *、主电源：****低压电源 *、启动高压电源：*********电源 *、聚焦电源：******电源 *、偏转电源：******电源 *、坩埚聚焦电源：******电源 *、电源控制单元

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）