采购内容：高真空多源集成复合薄膜制备系统

采购数量：*批

主要功能或目标：高真空多源集成复合薄膜制备系统主要由真空系统、进样系统、磁控溅射与等离子多源耦合沉积系统、加热及特殊退火样品后处理系统、电控系统、辅助系统等、***+工控机+液晶屏全自动控制系统等组成。 本系统适用于纳米量级功能膜、多层结构复合膜、材料改性及表面处理等特定科研需求的实验制备；适用于四靶单独溅射、依次溅射、共同溅射；强磁靶可溅射磁性材料；适用于制备金属膜、合金膜、半导体膜、磁性膜、陶瓷膜等。

需满足的要求：安装部署调试、售后支持等。营业执照，产品质量应当符合国家行业规定的硬件要求与行业标准，*年及以上质保，软件免费升级等服务。