天水师范大学微纳传感材料与器件实验室设备更新项目政府采购合同政府采购合同公告

2026-10-09

甘肃/天水中标结果

天水师范大学微纳传感材料与器件实验室设备更新项目政府采购合同政府采购合同公告
甘肃/天水-2026-10-09 00:00:00

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一、合同编号：********************

二、合同名称：微纳传感材料与器件实验室设备更新项目政府采购合同

三、项目编号：************

四、项目名称：天水师范大学微纳传感材料与器件实验室设备更新项目

五、合同主体

采购人(甲方)：天水师范大学

地址：甘肃省天水市秦州区藉河南路

联系方式：************

供应商(乙方)：甘肃吉斌仪器有限公司

地址：甘肃省兰州市城关区南昌路*号**层****室

联系方式：***********

六、合同主要信息

主要标的：

序号	名称	数量(单位)	单价(元)	总价(元)	规格型号/服务要求
*	**系统高真空磁控溅射薄膜沉积系统	*(套)	￥*,.*	￥*,.*	、片内膜厚均匀性：≤±% 、极限真空度经烘烤除气后小于.******** 、抽速：从大气开始抽气：分钟可达到.******** 、保压：系统停泵关机小时后真空度：≤** 、真空室 .单室结构 .手动前开门 .***不锈钢材质 .≥Ф********** .内烘烤除气 .腔外照明、磁控溅射靶 .强磁靶：套（可用于磁性材料薄膜沉积） .永磁靶：套（普通金属材料沉积） .尺寸：英寸 .向上溅射 .可实现倾斜共溅射 .靶基距可调手动可调。、直流溅射电源溅射电源：台，输出****连续可调，支持恒流、恒压、恒功率三种模式，工作压力****。、射频溅射电源 *溅射电源：台，输出****连续可调，输出频率：.****，自动匹配，低压启辉能力，启辉压力：.*.。、基片台 .尺寸：英寸（兼容英寸以下小尺寸基片） .数量：片 .铁铬铝炉丝加热，炉丝加热温度：室温**℃；控温精度：±℃ .基片自转速度：～转/分 .配有负*偏压电源，辅助沉积、气体流量控制器 *.氩气：********（准确度：±.%.） .氮气：*******（准确度：±.%.） .氧气：*******（准确度：±.%.）、泵组：磁悬浮分子泵：抽速***/，台。多级罗茨干泵：抽速*/，台。、复合真空计：************* 、工艺薄膜规：**.* 、无氧铜圈：套，密封件；胶圈：套，密封件；外照明灯：个；烘烤灯：个，腔体烘烤；电离规：个，真空测量；不锈钢螺钉螺帽：套；各规格保险丝：各个；测试用的导电和绝缘靶材（厚，）若干；电器相关的保险丝：各个；专用工具箱，套；冷却水循环机组件：套；测试用的高纯氧气瓶（****），带减压阀；高纯氩气瓶（****），带减压阀；氮气瓶（****），带减压阀，配钢瓶支架；电控系统套，具有自锁、互锁保护系统，并对关键部件有故障报警及报警动作保护措施，具有自动工艺流程和开放式工艺编辑、存储与调取执行，具有多工艺的自由组合，一键式全自动运行。
*	半导体性能测试仪	*(台)	￥*,.*	￥*,.*	主要技术参数、中功率直流测量单元 .电流表测试量程/分辨率/精度电流源输出量程/分辨率/精度最小：**/*/*****//* 最大：*/*/****//*** .电压表测试量程/分辨率/精度电压源输出量程/分辨率/精度最小：***//*******//** 最大：/*/***//*** 、远程前端放大器电流表测试量程/分辨率/精度电流源输出量程/分辨率/精度最小：//****/.*/** 、快速脉冲测量单元 .可编程双通道脉冲，电压电流同步测量； .频率范围：不小于*******； .周期:不小于********； .最小脉冲宽度:不高于**； .电压范围：不小于**+* 、远程放大及开关单元 .扩展电流测量范围:(*,,*μ,*μ,μ,****)； .实现稳态、脉冲等模块之间不用换线的自动切换。、半导体测试测试夹具和电缆用于测量半导体器件及脉冲特性，耐压：**，最大电流；低漏电连接电缆，支持源测量单元连接，接口适配，支持漏电流***** 、控制系统功能： .图形化界面,全集成化，无需编制程序； .标准半导体器件参数测试库 .纳米器件参数测试库 .半导体参数分析库、配置要求：参数分析仪主机台；中功率源测量单元个；远程前端放大器个；快速脉冲测量单元个；远程放大及开关单元个；低漏电连接电缆根；半导体测试夹具*个
*	原子力显微镜	*(台)	￥,,.*	￥,,.*	主要技术参数、工作模式接触模式、轻敲模式、力曲线成像模式、智能成像模式、横向力模式、相位成像模式、静电力显微镜模式、磁力显微镜模式、表面电势显微镜模式、压电力显微镜模式、力曲线、力阵列、抬高模式、扫描电容显微镜、导电力显微镜、定量纳米力学测试功能、、性能参数 .工作方式：*三轴全探针扫描方式，扫描过程中由扫描器带动探针进行三个方向的移动，而样品保持静止，可提供开放式样品台空间，方便外部施加光、电、磁、热等信号，可测样品重量≥*。 .高分辨扫描器：方向扫描范围≥μ，*方向闭环噪音水平≤.***；方向扫描范围≥*μ，方向闭环噪音水平≤**。 .光学辅助系统：彩色像素≥万，马达驱动缩放及聚焦，视场范围≥*μ***μ，光学分辨率≤μ。 .进针方式：智能自动进针方式，采用马达和压电陶瓷自动探测的智能进针模式，保护探针及样品，可更容易得到高分辩测试要求。 .控制器：至少包含三个全数字锁相放大器，反馈响应时间≤µ，数据采样速率≥***，每条扫描线可获得数据点≥,**。 .全自动样品台：直径≥**，可放置样品高度≥，真空吸附方式固定样品，样品台可º旋转，可程序化全自动控制移动样品台，样品台移动区域≥**×**，可编程进行多样品、多区域自动扫描。、系统配置原子力显微镜主机及应用模块套；)高速控制器系统套；光学系统套；样品台及真空吸附附件套；防震台套：提供气浮式防震装置，防止低频共振；隔音罩*个：提供可视窗口的隔音、防灰尘装置；

合同金额： *,***,***.**元，大写(人民币)：肆佰壹拾叁万伍仟元整

履约期限：****年**月**日至****年**月**日

履约地点：采购人指定地点

采购方式：公开招标

七、合同签订日期

****年**月**日

八、合同公告日期

****年**月**日

九、其他补充事宜

合同附件：

政府采购合同.***

天水师范大学

****年**月**日