激光脉冲沉积系统（HITSZWJ260019）采购公告
2026-09-30
广东/深圳 招标采购
激光脉冲沉积系统（HITSZWJ260019）采购公告
广东/深圳-2026-09-30 00:00:00
,
,
广东/深圳-2026-09-30 00:00:00
激光脉冲沉积系统（*************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 激光脉冲沉积系统 | 项目编号 | ************* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 预付款*%，货到付款**%，验收完成付款**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**日内 | 到货时间要求 | 签约后***个日历日内 |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | **** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ;请供应商认真阅读需求文件（附件*），并按照要求填写应答文件（附件*），未按照要求提供应答文件及相关附件的视为无效报价。 (必选) |
||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 激光脉冲沉积系统 | * | 台 | 其他电工、电子生产设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 外延科技 |
|---|---|
| 型号 | *********** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.需包含法兰预留接口：******(水平激光入口，双面镀膜石英窗口)，*******(差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空)，*******(红外测温和加热以及观察，镀膜视窗)，****** (观察视窗)，******(腔体粗抽和工艺控压)，******* (分子泵)，******(全量程真空计和工艺气体真空计)，******* (样品台入口)，****** (靶台入口)，******(*路气体入口)。 *.配备一套分子泵*****，≥****/*；配备一套前级涡旋干泵，≥**/*；配有一台主腔室与分子泵之间气动闸板阀*****；配有一套全量程真空计，可覆盖范围：**** ****到**** ****；配有一套薄膜真空计，量程*****，薄膜真空计量程可覆盖范围：*.********～*****（投标产品参数必须具备此区间值要求），分辨率＜*.***%；配有一个****气动工艺控制角阀。 配有一套****工艺抽气控制蝶阀，可进行****°开度控制 ；配有气动粗抽角阀，实现分子泵不停下主腔的放气和抽气，缩短换样时间，提高制样效率；配备一套分子泵前级抽气****气动球阀；配有一个快开门抽气放气手动球阀。 *.配有四轴样品台:自转速度不小于*******范围，软件控制,基片移动范围*:≥±**.* ** *:≥±**.* ** *:≥** **(手动）；样品采用红外激光加热，红外激光加热器功率≥*** *，温度≥（*******°*）；使用红外测温仪测温，测量范围≥（********℃）；红外激光和测温光路集成模块应具有易操作光路调试系统，光斑大小方向可调；红外加热使用***温度控制器，样品升温速率****°℃/***可调，精度≥*℃。 *.配有四轴靶台:软件控制，可软件控制靶材切换和靶材面扫功能，移动范围*:≥±**.* ** ，*:≥±**.* **，*:≥*** **；配有五位无磁钛合金靶座，≥*个靶位，一个传样位，一次性可以传出所有靶材；配有插拔式扫描靶托。 *.配备一台质量流量控制计，流里范围:≥（*********），***控制精度：≥±*%*.*.，响应时间＜*秒；配有**、**进气；配有*路高压气体入口气动角阀******。 *．配有可移动铝型材桌，带脚轮和水平脚架；配有一套高损伤阈值*****光学透镜，焦距*≥*****；配套透镜支架；配套透镜滑轨。 *.具有工艺气压控制功能；配有样品台电机控制模块；配有靶台扫描和公转控制模块，带有待机状态自动停止扫描功能，防止长期转动减少轴承寿命；靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台；具有脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；具有样品加热自动控制功能。 |
| 售后服务 |
********** **:**:**
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
激光脉冲沉积系统（*************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 激光脉冲沉积系统 | 项目编号 | ************* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 预付款*%，货到付款**%，验收完成付款**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**日内 | 到货时间要求 | 签约后***个日历日内 |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | **** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ;请供应商认真阅读需求文件（附件*），并按照要求填写应答文件（附件*），未按照要求提供应答文件及相关附件的视为无效报价。 (必选) |
||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 激光脉冲沉积系统 | * | 台 | 其他电工、电子生产设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 外延科技 |
|---|---|
| 型号 | *********** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.需包含法兰预留接口：******(水平激光入口，双面镀膜石英窗口)，*******(差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空)，*******(红外测温和加热以及观察，镀膜视窗)，****** (观察视窗)，******(腔体粗抽和工艺控压)，******* (分子泵)，******(全量程真空计和工艺气体真空计)，******* (样品台入口)，****** (靶台入口)，******(*路气体入口)。 *.配备一套分子泵*****，≥****/*；配备一套前级涡旋干泵，≥**/*；配有一台主腔室与分子泵之间气动闸板阀*****；配有一套全量程真空计，可覆盖范围：**** ****到**** ****；配有一套薄膜真空计，量程*****，薄膜真空计量程可覆盖范围：*.********～*****（投标产品参数必须具备此区间值要求），分辨率＜*.***%；配有一个****气动工艺控制角阀。 配有一套****工艺抽气控制蝶阀，可进行****°开度控制 ；配有气动粗抽角阀，实现分子泵不停下主腔的放气和抽气，缩短换样时间，提高制样效率；配备一套分子泵前级抽气****气动球阀；配有一个快开门抽气放气手动球阀。 *.配有四轴样品台:自转速度不小于*******范围，软件控制,基片移动范围*:≥±**.* ** *:≥±**.* ** *:≥** **(手动）；样品采用红外激光加热，红外激光加热器功率≥*** *，温度≥（*******°*）；使用红外测温仪测温，测量范围≥（********℃）；红外激光和测温光路集成模块应具有易操作光路调试系统，光斑大小方向可调；红外加热使用***温度控制器，样品升温速率****°℃/***可调，精度≥*℃。 *.配有四轴靶台:软件控制，可软件控制靶材切换和靶材面扫功能，移动范围*:≥±**.* ** ，*:≥±**.* **，*:≥*** **；配有五位无磁钛合金靶座，≥*个靶位，一个传样位，一次性可以传出所有靶材；配有插拔式扫描靶托。 *.配备一台质量流量控制计，流里范围:≥（*********），***控制精度：≥±*%*.*.，响应时间＜*秒；配有**、**进气；配有*路高压气体入口气动角阀******。 *．配有可移动铝型材桌，带脚轮和水平脚架；配有一套高损伤阈值*****光学透镜，焦距*≥*****；配套透镜支架；配套透镜滑轨。 *.具有工艺气压控制功能；配有样品台电机控制模块；配有靶台扫描和公转控制模块，带有待机状态自动停止扫描功能，防止长期转动减少轴承寿命；靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台；具有脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；具有样品加热自动控制功能。 |
| 售后服务 |
********** **:**:**
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术及合同（详见***.****.***.**,下载中心，各类合同模版）要求，且供应商响应的商务、技术及合同要求须与采购人提出的商务、技术及合同要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
报价人若成为该项目成交供应商后自行放弃成交资格、或不签订采购合同、或不履行合同约定、或存在相互串通现象等违反采购相关法律法规的行为，
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
三年内不得参与学校网上竞价采购项目，并承担由此引起的相应法律责任。
