华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
2026-09-22
广东/广州 中标结果
华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
广东/广州-2026-09-22 00:00:00
广东/广州-2026-09-22 00:00:00
华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
竞价结果公告(****************)
开始时间：********** **:**:** 截止时间：********** **:**:** 截止时间已过
成交单位：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
成交价：
*****.***元
说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起*天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
采购单位：华南师范大学 |
联系人：****** |
******：****** |
联系电话：****** |
传真：****** |
联系手机：****** |
邮编：****** |
平台联系电话（异议）：****** |
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项目名称：
华南先进光电子研究院购买水冷刻蚀样品台、离子束刻蚀机控制器
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竞价编号：**************** |
采购类型：货物类 |
开始时间：********** **:**:** |
项目预算(元)：**,***.** |
结束时间：********** **:**:** |
质保期及售后要求：按原厂售后服务进行 |
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其他要求：无 |
响应情况
| 资格及商务响应情况 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | ||
| 资格条件 | 无 | 无 | ||
| 付款方式 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后**个工作日内，支付***%合同金额。 | 完成合同约定内容，验收通过并收到发票后**个工作日内，支付***%合同金额。 | ||
| 交付时间 | 合同签订后**个工作日内交付 | 合同签订后**个工作日内交付 | ||
| 履约保证金： | 无需履约保证金 | 无需履约保证金 | ||
| 交付地址 | 广东省广州市番禺区华南师范大学大学城校区理五栋*** | |||
| 质保期及售后要求 | 按原厂售后服务进行 | 按原厂售后服务进行 | ||
| 其他要求： | 无 | 无 | ||
| 报价情况 | ||||
| 标的名称 | 生产厂商/品牌、型号规格 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） |
| 离子束刻蚀机控制器 | 北京埃德万斯、******* | *.** | 北京埃德万斯、 ******* | *****.***元 |
| 水冷刻蚀样品台 | 北京埃德万斯、****** | *.** | 北京埃德万斯、 ****** | *****.***元 |
| 总报价 | *****.*** 元 | |||
| 技术响应 | ||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | ||
| 离子束刻蚀机控制器 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配***终点检测控制信号接入。 | 离子束刻蚀机控制器：控制模式为全自动+半自动双模式；支持单工艺及多工艺组配方存储；具备操作与运行记录自动追溯功能；集成故障自诊断与报警互锁安全机制；可选配***终点检测控制信号接入。 | ||
| 水冷刻蚀样品台 | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±**°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ*****（*英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜***℃） | 水冷刻蚀样品台：冷却方式为水冷（可选氦冷）；倾角调节范围为±**°双向倾斜；具备面内连续旋转功能；兼容≤Φ*****（*英寸）样品；工艺中可有效控温（水冷工况下样品表面温度＜***℃） | ||
