粤能许可〔****〕**号

珠海市发展和改革局，珠海兴森半导体有限公司：

　　《高阶****基板智能制造及产业化项目节能报告》收悉。根据《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》（国家发展和改革委员会令〔****〕**号）、《广东省固定资产投资项目节能审查实施办法》（粤能规〔****〕*号）的相关要求，我局对该项目节能报告进行了审查，审查意见如下：
　　一、项目采用的主要技术标准和建设方案基本符合国家和省相关节能法规及节能降碳政策的要求，原则同意该项目节能报告。
　　二、项目位于珠海市珠海经济技术开发区金湾区南水镇三虎大道***号，总投资**亿元，预计****年*月投产。项目主要建设内容：依托现有*****.**平方米的三层厂房及辅助设施，扩产改良型半加成法高阶基板生产线，年产高阶基板**.**万平方米（折标准板面积***.**平方米）。项目不新建建筑物。
　　三、用能工艺。
　　项目采用改良型半加成法（****）制造工艺，主要包括开料、前处理、贴膜、曝光、显影、蚀刻、退膜、光学检测、棕化、压合、镭射钻孔、除胶、沉铜、电镀、阻焊、表面处理、检测及包装等工序。项目选用化学沉铜配套垂直连续脉冲电镀方案、激光直接成像曝光（***）工艺。
　　四、用能设备。
　　（一）主要设备：*条电镀线（功率***千瓦），*条后固化线（功率***千瓦），*条除胶沉铜线（功率***千瓦），*条显影蚀刻退膜线（功率***千瓦），*条镀金线（功率***千瓦），*台隧道式烤箱（功率***千瓦），**台压机（功率***千瓦），*台连线预固化滚涂线（功率***千瓦），*条改进型半加成法显影线（功率***千瓦），*台清洗机（*台功率***千瓦、*台功率***千瓦、*台功率***千瓦），*条退膜线（*条功率***千瓦、*条功率***千瓦），*条烤板线（功率***千瓦），*条镍钯金线（功率***千瓦），*条有机可焊性保护剂线（功率***千瓦），*条碱性蚀刻线（功率***千瓦），*条闪蚀线（功率***千瓦），*条前处理线（*条功率***千瓦、*条功率***千瓦、*条功率**千瓦），***台激光钻机（功率**千瓦），**台激光钻机（功率**千瓦），***台上下板机（功率*千瓦），以及开料、表面处理、成型、检测、包装等设备。
　　（二）辅助设施：*台导热油炉（***万大卡、热效率**%，*级能效），*台离心式冷水机组（*台功率***千瓦、****.**，*台功率***.*千瓦、****.**，*台功率***千瓦、****.**，均为*级能效），*台螺杆式空压机（功率***千瓦、排气量**.*立方米/分钟、压力*.*兆帕、比功率*.**千瓦/立方米/分钟、*级能效），*台变压器（*台容量****千伏安、空载损耗*.**千瓦、负载损耗**.*千瓦，*台容量****千伏安、空载损耗*.**千瓦、负载损耗**.*千瓦），利旧*台离心式冷水机组（*台功率***.*千瓦、*台功率***.*千瓦、均为****.**，*台功率***.*千瓦、****.**）、*台离心式空压机（*台功率***千瓦、排气量***立方米/分钟、*级能效，*台功率***千瓦、排气量***立方米/分钟、*级能效）、**台变压器（*台容量****千伏安、空载损耗*.**千瓦、负载损耗**.*千瓦，*台容量****千伏安、空载损耗*.**千瓦、负载损耗**.***千瓦、*级能效，*台容量****千伏安、空载损耗*.**千瓦、负载损耗*.***千瓦、*级能效），以及风机、水泵、空调、照明和环保处理设施等辅助设备。
　　五、计量器具。
　　项目主要对电力、天然气、柴油及耗能工质新水等进行能源计量器具配备。项目外购能源进入厂区时进行一级计量，各车间设置二级计量，主要用能设备配置三级计量。
　　六、项目建成后能源消费和碳排放主要指标。
　　项目年综合能源消费量不高于*****.**吨标准煤，其中年电力消耗量不高于*****.*万千瓦时、天然气消耗量****.**立方米、柴油消耗量*.**吨。项目单位产品（折标准面积）综合能耗不高于*.*千克标准煤/平方米。
　　项目年二氧化碳排放总量不高于*****.*吨，其中直接排放量**.**吨，间接排放量*****.**吨。项目高阶基板（折标准面积）单位产品碳排放量不高于**.**千克二氧化碳/平方米。
　　七、项目在落实节能报告各项节能降碳措施基础上，应加强和改进以下节能降碳工作：
　　（一）工艺节能降碳。
　　*.采用集散型自动控制系统，实现整个生产过程的参量自动显示、控制和报警，建立能源管理系统，稳定工艺参数，降低动力设备空耗。
　　*.中低温槽加热系统采用高温热泵机组制热替代电加热设备，实现高效用能。
　　*.热压工序采用集中永磁变频真空系统，配套智能联控；压机采用碳化硅厚膜分区电热模组直接加热，提升热效率。
　　*.集中真空站、恒温热水站、空压站配套智能联控系统，净化空调采用二次回风技术减少冷热抵消。
　　（二）辅助及附属生产设施节能降碳。
　　*.项目主要用能设备能效均满足相关标准二级及以上要求。
　　*.选用低损耗节能变压器，配电点靠近负荷中心布置，就地无功补偿，功率因数控制在*.**以上。
　　*.空调冷冻水泵、冷却水泵、冷却塔及废气处理风机采用变频控制；回收利用空压机余热，实现能量梯级利用。
　　（三）能源计量和管理。
　　*.根据《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（************）等规范，健全能源计量、监测管理制度，建立能源计量管理体系。
　　*.配备的电表、天然气、新水等介质的计量器具，精度要符合《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（************）要求。
　　*.按照《重点用能单位节能管理办法》（****年修订）相关要求接入全省能耗在线监测系统，定期报送能源利用状况和碳排放情况报告。
　　（四）其他要求。
　　*.项目建成投产后，应认真执行国家、省节能降碳政策要求，积极开展节能降碳技术改造，并综合采取碳排放配额交易、项目碳排放等量替代等措施减少项目碳排放。
　　*.将能效碳效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同，不得使用国家明令禁止和淘汰的落后工艺及设备。
　　*.加强能源和碳排放管理，对企业能耗、碳排放进行实时记录、监测和分析。
　　八、项目建设单位、建设地点、建设规模、主要生产装置、用能设备、工艺技术路线、主要产品品种及其他方面较节能报告、节能审查意见等发生重大变化的，请按照《广东省固定资产投资项目节能审查实施办法》（粤能规〔****〕*号）第十八条规定执行。
　　九、请珠海兴森半导体有限公司根据本审查意见和项目节能报告，对项目设计、施工、竣工验收以及运营加强管理，及时报告本审查意见落实情况和项目有关重大事项。我局按规定组织开展对节能审查意见落实情况的跟踪检查。
　　十、项目投入生产、使用前，珠海兴森半导体有限公司组织对项目节能降碳相关情况进行验收，并将验收报告报我局和珠海市发展和改革局留存。未按规定进行节能审查验收或验收不合格擅自投入生产、使用的，以及以提供虚假材料等不正当手段通过节能审查验收的，责令限期整改。
　　十一、请珠海市发展和改革局积极推进重点用能单位节能降碳改造工作，加强用能与碳排放预算精细化管理，为珠海市后续新增项目建设腾出能耗与碳排放空间。
　　十二、本节能审查意见自印发之日起两年内有效，项目逾期未开工建设的，应重新进行节能审查和碳排放评价。