项目名称：中国电子科技集团公司第十三研究所接触光刻机设备采购
招标项目编号：*****************
招标范围：（*）具有稳定可靠的晶圆厚度补偿系统，可对晶圆进行自调平和真空吸附。 （*）通过计算机软件进行工艺参数的设定、设备的控制等。 （*）最大有效曝光范围：*****。 （*）具备晶圆正面和背面套刻，可实现双面光刻工艺。
招标机构：中国远东国际招标有限公司
招标人：中国电子科技集团公司第十三研究所
开标时间：********** **:**
公示开始时间：********** **:**
评标公示截止时间：********** **:**
中标候选人名单：**** ******** ********* **** ****; **. **