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项目名称：中国电子科技集团公司第十三研究所接触光刻机设备采购

招标项目编号：*****************

招标范围：（*）具有稳定可靠的晶圆厚度补偿系统，可对晶圆进行自调平和真空吸附。 （*）通过计算机软件进行工艺参数的设定、设备的控制等。 （*）最大有效曝光范围：*****。 （*）具备晶圆正面和背面套刻，可实现双面光刻工艺。

招标机构：中国远东国际招标有限公司

招标人：中国电子科技集团公司第十三研究所

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：