【2506017003】固液体样品数据采集和处理平台采购项目项目公告
2026-08-28
上海 招标采购
【2506017003】固液体样品数据采集和处理平台采购项目项目公告
上海-2026-08-28 00:00:00
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日期:****年*月**日项目编号:**********一、招标条件本招标项目已由相关单位批准,项目资金来源为项目资金及自筹资金,招标人为上海集成电路材料研究院有限公司。本项目已具备招标条件,招标方式为公开招标。二、项目概况和招标范围规模:序号货物名称简要技术规格数量及单位交货期交货及安装地点*固体样品数据采集集群涵盖直接电导率法和薄膜电导率法总有机碳分析模块、在线溶解氧分析模块、高分辨率辉光放电质谱模块、电感耦合等离子体串联质谱采集模块,可实现检出限≤*.******总有机碳测试、*.** μ*/* – **.** **/*范围在线溶解氧测试、固体材料中痕量和超痕量元素(**~*,***级)采集和定量分析、表面可迁移污染物采集(要求轻质量数检出限***;*.****,中/重质量数检出限***;*.****)。*套****.**.**上海市浦东新区云水路**
,序号货物名称简要技术规格数量及单位交货期交货及安装地点**号**号楼*液体样品中颗粒数据采集集群可实现液体样品粒径范围*.**μ*–*.** μ*颗粒粒径数量的数据采集。*套****.**.**上海市浦东新区云水路****号**号楼*固体样品数据处理集涵盖尘埃粒子计数模块、***气体直接进样模块、电感耦合等离子体串联质谱数据处理模块,可实现固体样品表面可迁移尘埃粒子和洁净环境空气中悬浮粒子*.*μ*粒径浓度测试;半导体固体材料表面可迁移污染物/电子工业特气杂质处理能力,各元素***≤*.****,***≤****;固体材料的表面可迁移污染物数据处理,检出限要求轻质量数***;*.****,中/重质量数***;*.**套****.**.*上海市浦东新区云水



