等离子源系统（‌频率‌：**.***** 射频；‌功率‌：****，支持连续可调） 真空系统（‌真空腔体材质‌：石英；‌腔体内部尺寸‌：直径φ*****，深度*****；‌腔体容积‌：**；‌密封性‌：军工级焊接密封；‌真空泵类型‌：油泵/干泵；‌处理温度‌：低于**°*；‌流量计类型‌：浮子流量计；‌气路控制‌：配置*路处理气体气路，气体流量支持独立调节；‌真空度范围‌：**** ～ *****；‌可选工艺气体‌：支持**、**、***、**、**等多种气体选配）

质保一年