*. 设备采用桌面式一体化结构，集成涡轮分子泵、无油干式隔膜前级泵及控制器。 *. ★泵对氮气的抽速≥** */*。 *. ★氮气压缩比＞*×**¹¹。 *. ★采用**进气法兰时，极限真空＜*×**⁻¹⁰ ****。 *. 前级泵采用无油干式隔膜泵，** **条件下抽速≥*.* *³/*。 *. 进气法兰采用****接口；排气端配备消音器或*/*英寸***接口。 *. 静态密封性＜*×**⁻⁶ ****·*/*。 *. 在极限真空状态下运行时，噪声≤** **(*)。 *. 设备运行环境温度范围应覆盖**～** ℃。 **. 整机重量≤** **，最大外廓尺寸≤*** **×*** **×*** **。

供应商应提供原厂或制造商授权的售后服务，负责设备的运输、安装、调试及操作培训，确保设备正常运行并达到验收要求。整机质保期不少于*年，自验收合格之日起计算；质保期内因产品质量问题产生的维修、更换零部件及相关服务费用由供应商承担。接到故障通知后*小时内响应，**小时内提出解决方案，确需现场处理的，应在**小时内安排技术人员到场。质保期满后提供终身技术支持、维修服务及备品备件供应。